◆半導(dǎo)體制造需要接近理論純水的水理論上純水在25°C下的電阻率為18.24MΩ·cm,電導(dǎo)率為0.05482μS/cm。該電導(dǎo)率的值為H20+OH-(公式為2H20=H3O+OH-)即,除了氫離子和氫氧根離子以外,沒(méi)有任何電解質(zhì),這是因?yàn)樗旧淼慕怆x。對(duì)超純水的要求是,電阻率至少與理論純水的電阻率非常接近。實(shí)際上,高集成度半導(dǎo)體制造工藝所要求的水質(zhì)電阻率高達(dá)18MΩ·cm以上。例如,在水中溶解1mg/L的Fe離子,其電阻率就會(huì)下降到約17MΩ·cm,所以溶解物質(zhì)的濃度在μgg/L(ppb)的超純水中也會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,水質(zhì)要求是越來(lái)越嚴(yán)格。超純水設(shè)備可以提供低硝酸鹽的水供應(yīng)。南通超純水設(shè)備工程
超純水設(shè)備的使用離子交換混床是通過(guò)離子交換樹(shù)脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的,可去除水中的各種陰、陽(yáng)離子,是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽(yáng)離子交換器、陰離子交換器等。當(dāng)原水通過(guò)離子交換柱時(shí),水中的陽(yáng)離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽(yáng)樹(shù)脂的H+離子和陰樹(shù)脂的OH-離子進(jìn)行交換,從而達(dá)到脫鹽的目的。陽(yáng)、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達(dá)到更高的要求,生產(chǎn)出達(dá)到更高標(biāo)準(zhǔn)的超純水。蘇州道盛禾環(huán)??萍加邢薰旧綎|反滲透超純水設(shè)備超純水設(shè)備可以提供穩(wěn)定的水質(zhì)。
超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。純水設(shè)備,它采用的是主要是反滲透膜技術(shù)。它的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力,使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜,從而使?jié)B透過(guò)的純凈水和無(wú)法滲透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格的分開(kāi);反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細(xì)菌的直徑有0.4-1微米。
預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線(xiàn)殺菌器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)(工藝)。4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線(xiàn)殺菌器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(工藝)。5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線(xiàn)殺菌器→精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。(二)純水設(shè)備的工藝流程為:1、采用離子交換方式原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂過(guò)濾床→陰樹(shù)脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所要求的超純水是100%的理論純水,不含溶解在水中的離子類(lèi)、有機(jī)物、活菌、微粒等。
泵增壓小,泵失壓。泵增壓小,一般出現(xiàn)于使用壽命超過(guò)兩年的設(shè)備,或是長(zhǎng)期處于工作狀態(tài)的設(shè)備。泵失壓,一般不易發(fā)現(xiàn)。直接表現(xiàn)是膜出水少或是膜不出水,經(jīng)常被誤認(rèn)為是膜堵了。水質(zhì)下降超純水機(jī)產(chǎn)出的超純水儲(chǔ)存在水箱時(shí)隨著時(shí)間的延長(zhǎng)水質(zhì)會(huì)下降。那么,導(dǎo)致水質(zhì)下降的原因有哪些呢?水箱材質(zhì)。由于超純水純度很高,幾乎無(wú)雜質(zhì),因此超純水容易從外界環(huán)境吸收污染物造成污染。如果我們用的儲(chǔ)水箱是低級(jí)塑料,就更容易溶部分有機(jī)物,從而增加水的電導(dǎo)率,導(dǎo)致水質(zhì)下降。超純水設(shè)備可以提供純凈的水源。南通超純水設(shè)備工程
超純水設(shè)備可以提供低氯離子的水供應(yīng)。南通超純水設(shè)備工程
原水:可用自來(lái)水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。機(jī)械過(guò)濾:通過(guò)砂芯濾板和纖維柱濾除機(jī)械雜質(zhì),如鐵銹和其他懸浮物等?;钚蕴窟^(guò)濾:活性炭是廣譜吸附劑,可吸附氣體成分,如水中的余氯等,吸附細(xì)菌和某些過(guò)渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜,因此應(yīng)力求除盡。反滲透膜過(guò)濾:可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物,包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除,使離子交換柱的使用壽命延長(zhǎng)。蘇州道盛禾環(huán)??萍加邢薰練g迎您的咨詢(xún)!南通超純水設(shè)備工程