下垂臂19末端設(shè)有真空吸盤(pán)21，真空吸盤(pán)21下端吸有工件。該機(jī)械手利用真空吸附原理，將真空泵或真空鼓風(fēng)機(jī)作為真空源，通過(guò)抽空真空吸盤(pán)21內(nèi)的空氣產(chǎn)生真空，從而將各種工件牢牢吸起，并通過(guò)擺動(dòng)主臂10、擺動(dòng)副臂11、旋轉(zhuǎn)臂16、下垂臂19等將工件搬運(yùn)到指定地點(diǎn)。該真空是由一個(gè)外部的真空泵或真空鼓風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的，不需要鏈或繩子吊重機(jī)或其它的提升設(shè)備來(lái)抓取或提起的負(fù)載起重。通過(guò)檢測(cè)真空吸盤(pán)21內(nèi)的真空度，能自動(dòng)識(shí)別下垂臂19上有無(wú)載荷，并經(jīng)氣動(dòng)邏輯控制回路自動(dòng)調(diào)整主升降氣缸5內(nèi)的氣壓，達(dá)到自動(dòng)平衡的目的。工作時(shí)，重物猶如懸浮在空中，可避免產(chǎn)品對(duì)接時(shí)的碰撞，避免工件表面損傷。在機(jī)械手的工作范圍內(nèi)，作業(yè)員可將其移動(dòng)到三維空間內(nèi)任意位置，從而實(shí)現(xiàn)工件的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等操作。整機(jī)無(wú)須電控系統(tǒng)，只需壓縮空氣和真空源即可工作，非常方便。移動(dòng)小車(chē)2用于更換工位，移動(dòng)小車(chē)2上設(shè)有立柱4，立柱4頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座6，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的主旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并對(duì)周?chē)?60°范圍內(nèi)的工件進(jìn)行操作。真空搬運(yùn)機(jī)械手的選型是根據(jù)需要搬運(yùn)的工件大小、材質(zhì)、重量來(lái)定的，不同的材質(zhì)需要用不同材質(zhì)的吸盤(pán)。比如工件表面比較粗糙的一般選項(xiàng)用硅膠或者聚胺脂吸盤(pán)。雨花臺(tái)區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！梁溪區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買(mǎi)到

    在圖1至圖3中包括有：1——機(jī)械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動(dòng)槽12——豎板固定座2——中間活動(dòng)板3——前端活動(dòng)架4——水平導(dǎo)軌副41——水平導(dǎo)軌42——水平滑塊5——豎向?qū)к壐?1——豎向?qū)к?2——豎向滑塊61——吸盤(pán)安裝架62——真空吸盤(pán)71——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊72——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸73——軸承8——機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)9——驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體的實(shí)施方式來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說(shuō)明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手，包括有機(jī)械手安裝架1，機(jī)械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進(jìn)一步的，固定安裝豎板11的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板2、前端活動(dòng)架3，前端活動(dòng)架3位于中間活動(dòng)板2的前端側(cè)，中間活動(dòng)板2與固定安裝豎板11之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副4，前端活動(dòng)架3與中間活動(dòng)板2之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活動(dòng)架3的下端部裝設(shè)有吸盤(pán)安裝架61，吸盤(pán)安裝架61裝設(shè)有真空吸盤(pán)62。更進(jìn)一步的，固定安裝豎板11的前表面開(kāi)設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽111，前端活動(dòng)架3螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊71。邳州多功能真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家浦口區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè)，中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副，前端活動(dòng)架與中間活動(dòng)板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活?dòng)架的下端部裝設(shè)有吸盤(pán)安裝架，吸盤(pán)安裝架裝設(shè)有真空吸盤(pán)；固定安裝豎板的前表面開(kāi)設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽，前端活動(dòng)架螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊裝設(shè)有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸伸入至固定安裝豎板的活動(dòng)槽內(nèi)且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸裝設(shè)有嵌插于活動(dòng)槽內(nèi)的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸裝設(shè)有位于活動(dòng)槽旁側(cè)且用于撥動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型具有設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠性好的優(yōu)點(diǎn)。附圖說(shuō)明下面利用附圖來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明，但是附圖中的實(shí)施例不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的任何限制。圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型的分解示意圖。

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車(chē)、和沿著與高架搬運(yùn)車(chē)的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車(chē)和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車(chē)和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車(chē)和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車(chē)與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。江寧區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    使保持部49上升，由此將物品2懸掛保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2時(shí)，將臂部48伸長(zhǎng)而使保持部49配置于物品2的上方，在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使第1、第二升降臺(tái)43a、43b上升，由此利用保持部49將物品2提起。接著，第1、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48，由此將保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降臺(tái)43a、43b的下方。此外，第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如，也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu)，也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如使用升降機(jī)等，沿著第1、第二桅桿42a、42b使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動(dòng)部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等，第1、第二升降臺(tái)43a、43b通過(guò)該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。驅(qū)動(dòng)部45b設(shè)置于上部支承體，進(jìn)行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅(qū)動(dòng)部45b將懸掛部件抽出，則第1、第二升降臺(tái)43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而下降。另外，若驅(qū)動(dòng)部45b卷繞懸掛部件45a，則第1、第二升降臺(tái)43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而上升。棲霞區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！邳州多功能真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

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    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個(gè)。第1、第二保管部20a、20b在各個(gè)第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個(gè)列相對(duì)于裝載端口lp的列在x方向?qū)χ门渲?。?保管部20a配置于相對(duì)于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯(cuò)開(kāi)的位置。第二保管部20b配置于相對(duì)于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯(cuò)開(kāi)的位置。在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向設(shè)置兩層。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于兩層，可也以設(shè)置一層或者三層以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以設(shè)置于地板面上，來(lái)代替從頂棚懸掛。第1交接端口30a設(shè)置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b設(shè)置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有與第1、第二保管部20a、20b相同的結(jié)構(gòu)，第1、第二保管部20a、20b中的一個(gè)或者多個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b使用。在本實(shí)施方式中。梁溪區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買(mǎi)到

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