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可以起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)。另外,可以第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道,第1起重機(jī)和高架搬運(yùn)車在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛,第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛。另外,可以第1交接端口和第二交接端口配置于第1保管部和第二保管部各自的較上層。另外,本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)方法是如下搬運(yùn)系統(tǒng)的搬運(yùn)方法,上述搬運(yùn)系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);第1保管部和第二保管部,它們?cè)诘?區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;第1交接端口和第二交接端口,它們?cè)O(shè)置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;第1起重機(jī),其具備沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1行駛部、從第1行駛部垂下的第1桅桿、以及被第1桅桿引導(dǎo)而升降的第1移送部;第二起重機(jī)。高淳區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!賈汪區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家
本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù):在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng),因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。賈汪區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家江寧區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);第1保管部和第二保管部,它們?cè)诘?區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;第1交接端口和第二交接端口,它們?cè)O(shè)置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;第1起重機(jī),其具備沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1行駛部、從第1行駛部垂下的第1桅桿、以及被第1桅桿引導(dǎo)而升降的第1移送部,并且在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運(yùn)物品;第二起重機(jī),其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部,并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品;以及高架搬運(yùn)車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),并且在第1交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品,上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外。
并使轉(zhuǎn)動(dòng)部件圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)部通過來(lái)自轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力而轉(zhuǎn)動(dòng),能夠使升降驅(qū)動(dòng)部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。通過該轉(zhuǎn)動(dòng)部能夠?qū)⒈槐3植?3保持的物品2的朝向改變。此外,高架搬運(yùn)車50也可以不具備轉(zhuǎn)動(dòng)部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個(gè)例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外,對(duì)于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言,與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同,第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣,由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用,因此無(wú)需按照其他結(jié)構(gòu)制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51,能夠減少第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有:多個(gè)車輪71a,它們與頂棚軌道10的下方的內(nèi)表面抵接;和行駛部主體71b,其安裝有上述多個(gè)車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。浦口區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手。背景技術(shù):在自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)加工的過程中,很多時(shí)候需要借助相應(yīng)的機(jī)械手來(lái)實(shí)現(xiàn)工件抓取移送;其中,通過真空吸盤吸附抓取產(chǎn)品的機(jī)械手應(yīng)用于非常。其中,對(duì)于現(xiàn)有的機(jī)械手而言,一般通過X軸驅(qū)動(dòng)線性模組、Y軸驅(qū)動(dòng)線性模組相配合來(lái)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動(dòng),或者通過水平氣缸、豎向氣缸相配合來(lái)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動(dòng);對(duì)于上述機(jī)械手而言,結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定可靠性較差。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,該新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠性好。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,包括有機(jī)械手安裝架,機(jī)械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板,固定安裝豎板的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座,豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接;固定安裝豎板的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板、前端活動(dòng)架,前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè),中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副。棲霞區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!金壇區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)
雨花臺(tái)區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!賈汪區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型中支柱的放大剖視結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本實(shí)用新型中控制頭的結(jié)構(gòu)示意圖?!ぞ唧w實(shí)施方式如圖I、圖2、圖3所示,本實(shí)用新型輕型真空搬運(yùn)機(jī),包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉桿4、真空泵13、連接管14、搬運(yùn)管15、真空吸盤裝置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋轉(zhuǎn)軸套6,固定柱5固定在立柱I的上端,旋臂3—端直接與旋轉(zhuǎn)軸套6的下端固定連接,另一端則通過斜拉桿4與旋轉(zhuǎn)軸套6的上端固定連接。連接管14一端與真空泵13連通,另一端與搬運(yùn)管15連通,真空吸盤裝置安裝在搬運(yùn)管15的底端,搬運(yùn)管15滑動(dòng)連接安裝在旋臂3上。其中,固定柱5通過上蓋7和下蓋8固定在立柱I上。固定柱5與旋轉(zhuǎn)軸套6之間且由上而下依次安裝有并帽9、墊圈10、上軸承11、下軸承12。旋臂3的下端面上開設(shè)有導(dǎo)軌17,搬運(yùn)管15的頂端與導(dǎo)軌17滑動(dòng)連接。導(dǎo)軌17上還滑動(dòng)連接有數(shù)個(gè)掛鉤18,靠近搬運(yùn)管15端的連接管14通過掛鉤18安裝在旋臂3上。真空泵13安裝在箱體16內(nèi),箱體16置于地面上;搬運(yùn)管15為可伸縮式搬運(yùn)管。真空吸盤裝置包括控制頭19、數(shù)個(gè)吸盤20、操作手柄21。賈汪區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家
上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來(lái)公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海勁容自動(dòng)化設(shè)備供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來(lái),公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針,員工精誠(chéng)努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng),我們一直在路上!