能夠減少第二起重機40b與高架搬運車50產(chǎn)生干擾的時刻、和高架搬運車50彼此產(chǎn)生干擾的時刻。另外，也有第二起重機40b或者其他高架搬運車50也以行駛或者停止的狀態(tài)存在于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的情況，但能夠通過高架搬運車50所具備的接近傳感器等避免與第二起重機40b或者其他高架搬運車50的干擾。在高架搬運車50的行駛方向上存在第二起重機40b或者其他高架搬運車50的情況下，也可以由控制裝置60等針對第二起重機40b或者其他高架搬運車50指示周期性行駛，確保搬運物品2的高架搬運車50的行駛。另外，第二起重機40b或者其他高架搬運車50也可以代替在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛，而從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16移動至第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來，如圖8所示，高架搬運車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上沿順時針的方向行駛，從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a經(jīng)由第1連接軌道15的出口部15b向第1區(qū)段間頂棚軌道13移動(參照圖8的箭頭)。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1連接軌道15、以及第1區(qū)段間頂棚軌道13的截面形狀相同或者大致相同(參照圖6)。高淳區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家！武進區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家

    可旋轉(zhuǎn)360°，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂上設(shè)有扶手，扶手上設(shè)有電腦控制盒，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤，真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運機械手，屬于一種機械手。機械手立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置，旋轉(zhuǎn)臂末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤。該機械手利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。徐州工業(yè)真空搬運機六合區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！

    搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。

    并在與作為搬運目的地的第二交接端口30b對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運車50使橫向伸出機構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動作，能夠?qū)⑽锲?從第1保管區(qū)域sa1搬運至第二保管區(qū)域sa2。此外，在上述的實施方式中，示出將物品2在第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進行搬運的例子，但通過與上述相同的動作能夠?qū)⑽锲?也在第1保管區(qū)域sa1與其他保管區(qū)域之間、或者在第二保管區(qū)域sa2與其他保管區(qū)域之間進行搬運。另外，載置于其他保管區(qū)域的交接端口的物品2被存在于該保管區(qū)域的起重機搬運至保管部或者處理裝置的裝載端口這點如上所述。如上所述，根據(jù)本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100，第1、第二起重機40a、40b能夠邊行駛邊使第1、第二升降臺43a、43b升降，因此與必須在停止后使保持部53升降的高架搬運車50相比，物品2的移送所需要的時間更短，能夠使區(qū)段內(nèi)(第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi))的物品2的搬運效率提高。并且，通過第1、第二起重機40a、40b進行區(qū)段內(nèi)的物品2的搬運，從而能夠使物品2的保管數(shù)量增加。另外，高架搬運車50不具有第1、第二起重機40a、40b的第1、第二桅桿42a、42b那樣的垂下的部件。江寧區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家！

    高架搬運車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對交接端口130進行物品2的交接，并且，也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對交接端口130進行物品2的交接。其結(jié)果是，第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運車50能夠以不進入第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與第1、第二起重機40a、40b之間進行物品2的交接。第1起重機40a在第1保管區(qū)域sa1搬運物品2。第二起重機40b在第二保管區(qū)域sa2搬運物品2。圖4是表示第1、第二起重機40a、40b的一個例子的圖。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b使用懸掛式起重機。由于第1、第二起重機40a、40b是懸掛式起重機，因此無需在與第1、第二起重機40a、40b對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，從而能夠以低成本設(shè)置起重機用的軌道。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺43a、43b、第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。雨花臺區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！徐州工業(yè)真空搬運機

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    驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制，使第1、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制，將第1、第二升降臺43a、43b保持于目標高度。雖然第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(第1、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如也可以設(shè)置于第1、第二升降臺43a、43b。作為在第1、第二升降臺43a、43b設(shè)置第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b的結(jié)構(gòu)，例如可以利用搭載于第1、第二升降臺43a、43b的升降機等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進行卷起或者抽出而使第1、第二升降臺43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降臺43a、43b搭載用于驅(qū)動小齒輪的電動馬達等，在第1、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅(qū)動電動馬達等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使第1、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，第1、第二起重機40a、40b將物品2從當前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬運。例如。武進區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家

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