本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。浦口區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！黃浦區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

    第1、第二起重機(jī)40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運(yùn)物品2。高架搬運(yùn)車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進(jìn)行物品2的交接。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個例子的圖。如圖5所示，高架搬運(yùn)車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅(qū)動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著頂棚軌道10行駛。行駛驅(qū)動部例如可以是設(shè)置于行駛部51且驅(qū)動車輪71a的電動馬達(dá)，也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a安裝于行駛部51的下部。主體部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驅(qū)動部54，其懸掛保持部53且使其升降；以及橫向伸出機(jī)構(gòu)55，其使升降驅(qū)動部54移動。保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部53a的卡盤，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。新北區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)六合區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如，在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運(yùn)車50的移動路徑中配置儲料機(jī)(自動倉庫)等。儲料機(jī)例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車50可以能夠針對該儲料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接，例如，能夠在儲料機(jī)與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻(xiàn)的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標(biāo)記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機(jī)；40b…第二起重機(jī)；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。

    發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡單、運(yùn)作省力、高效安全。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動主臂、擺動副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動小車截面呈長方形，其底部四角各設(shè)有一萬向輪，移動小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側(cè)并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。溧水區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    并在與作為搬運(yùn)目的地的第二交接端口30b對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動作，能夠?qū)⑽锲?從第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2。此外，在上述的實(shí)施方式中，示出將物品2在第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進(jìn)行搬運(yùn)的例子，但通過與上述相同的動作能夠?qū)⑽锲?也在第1保管區(qū)域sa1與其他保管區(qū)域之間、或者在第二保管區(qū)域sa2與其他保管區(qū)域之間進(jìn)行搬運(yùn)。另外，載置于其他保管區(qū)域的交接端口的物品2被存在于該保管區(qū)域的起重機(jī)搬運(yùn)至保管部或者處理裝置的裝載端口這點(diǎn)如上所述。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100，第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠邊行駛邊使第1、第二升降臺43a、43b升降，因此與必須在停止后使保持部53升降的高架搬運(yùn)車50相比，物品2的移送所需要的時間更短，能夠使區(qū)段內(nèi)(第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi))的物品2的搬運(yùn)效率提高。并且，通過第1、第二起重機(jī)40a、40b進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品2的搬運(yùn)，從而能夠使物品2的保管數(shù)量增加。另外，高架搬運(yùn)車50不具有第1、第二起重機(jī)40a、40b的第1、第二桅桿42a、42b那樣的垂下的部件。雨花臺區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！黃浦區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

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    活動架驅(qū)動塊71裝設(shè)有活動架驅(qū)動軸72，活動架驅(qū)動軸72伸入至固定安裝豎板11的活動槽111內(nèi)且活動架驅(qū)動軸72裝設(shè)有嵌插于活動槽111內(nèi)的軸承73；固定安裝豎板11的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動電機(jī)8，機(jī)械手驅(qū)動電機(jī)8的動力輸出軸裝設(shè)有位于活動槽111旁側(cè)且用于撥動活動架驅(qū)動軸72動作的驅(qū)動軸撥動塊9。需進(jìn)一步指出，水平導(dǎo)軌副4包括有螺裝于固定安裝豎板11且沿著左右方向水平延伸的水平導(dǎo)軌41、螺裝于中間活動板2的水平滑塊42，水平導(dǎo)軌41與水平滑塊42相配合。另外，豎向?qū)к壐?包括有設(shè)置于前端活動架3且呈豎向布置的豎向?qū)к?1、螺裝于中間活動板2的豎向滑塊52，豎向?qū)к?1與豎向滑塊52相配合。在本實(shí)用新型產(chǎn)品移送動作的過程中，機(jī)械手驅(qū)動電機(jī)8驅(qū)動驅(qū)動軸撥動塊9擺動，擺動的驅(qū)動軸撥動塊9驅(qū)動活動架驅(qū)動軸72擺動，在此過程中，軸承73與活動槽111相配合并實(shí)現(xiàn)對活動架驅(qū)動軸72導(dǎo)向，以使得活動架驅(qū)動軸72沿著活動槽111移動，且活動架驅(qū)動軸72帶動前端活動架3同步移動，并實(shí)現(xiàn)上升、下降動作。其中，本實(shí)用新型通過真空吸盤62吸附抓取產(chǎn)品。需強(qiáng)調(diào)的是，本實(shí)用新型只通過一電機(jī)即可實(shí)現(xiàn)真空吸盤62上升、下降動作，結(jié)構(gòu)簡單。綜合上述情況可知，通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。黃浦區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

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