施邁茨推出了適用于各行業(yè)人工搬運任務(wù)的搬運技術(shù)。該方案由真空搬運設(shè)備（如Jumbo真空管吊具或VacuMaster真空起重機）和配套的軌道系統(tǒng)構(gòu)成。真空搬運設(shè)備選購指導(dǎo)：真空搬運設(shè)備的功能和選購真空搬運設(shè)備可為客戶打造符合人體工程學(xué)的工作環(huán)境。該類設(shè)備可有效避免由于抬起和移動重負荷工件而引發(fā)的健康問題。施邁茨推出的真空搬運設(shè)備配備有的鋁合金軌道系統(tǒng)。軌道系統(tǒng)的適配性較好，與真空搬運設(shè)備搭配使用可令工作效率得到提升，其設(shè)計同樣符合人體工程學(xué)原理。施邁茨的真空搬運設(shè)備分為Jumbo真空管吊具和VacuMaster真空起重機兩大系列。我們的真空搬運設(shè)備符合CE認證以及歐盟所有現(xiàn)行的法律標準。我們的設(shè)備全部帶有CE標簽，運輸前均經(jīng)過單獨測試，并且交付時隨附合格聲明、操作及維護說明書。真空搬運設(shè)備實例迄今為止，施邁茨真空搬運系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用在多種行業(yè)領(lǐng)域中，為物料運輸效率提供有效保障。多年的行業(yè)經(jīng)驗讓我們可以與客戶始終保持緊密合作，我們了解客戶的工作流程，并且有能力生產(chǎn)出符合嚴格標準的產(chǎn)品。在保證材料和雇員安全的同時，真空搬運設(shè)備可以更快速、更穩(wěn)定地搬運負載。此外，施邁茨還可根據(jù)客戶的要求提供整套工作區(qū)方案。江寧區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！豐縣象鼻子真空搬運機生產(chǎn)廠家

    搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。黃浦區(qū)包裝袋真空搬運機哪家有六合區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    并使轉(zhuǎn)動部件圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部通過來自轉(zhuǎn)動驅(qū)動部的驅(qū)動力而轉(zhuǎn)動，能夠使升降驅(qū)動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。通過該轉(zhuǎn)動部能夠?qū)⒈槐３植?3保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運車50也可以不具備轉(zhuǎn)動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結(jié)構(gòu)制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內(nèi)表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅(qū)動車輪71a的行駛驅(qū)動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。雨花臺區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    并成為從第1、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件，也可以使用焊接等在上部支承體47安裝第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二桅桿42a、42b可以是一根，例如，可以分別設(shè)置于第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外，第1、第二起重機40a、40b使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b(參照圖2和圖3)。兩臺第1、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置，被上部支承體47連結(jié)。第1、第二桅桿42a、42b被兩臺第1、第二行駛部41a、41b支承。這樣，能夠利用兩臺第1、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二起重機40a、40b并不限定于使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b，也可以使用1臺或者3臺以上的第1、第二行駛部41a、41b。第1起重機40a的第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即，第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。第二起重機40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即。浦口區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家！豐縣象鼻子真空搬運機生產(chǎn)廠家

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    其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu)，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。豐縣象鼻子真空搬運機生產(chǎn)廠家