并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個(gè)裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部12a彼此連接。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設(shè)置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。浦口區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！濱湖區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)原理

    第1區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由第1連接軌道15與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的一個(gè)端部(+y側(cè)的端部)連結(jié)。第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的另一個(gè)端部(-y側(cè)的端部)連結(jié)。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個(gè)軌道。入口部15a形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作為兩個(gè)軌道。入口部16a形成供高架搬運(yùn)車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管區(qū)域sa1。如圖1所示。連云港真空搬運(yùn)機(jī)有幾種江寧區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過(guò)后述的第1起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過(guò)后述的第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個(gè)例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個(gè)例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進(jìn)入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個(gè)銷。該銷進(jìn)入物品2的槽部，由此相對(duì)于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。雨花臺(tái)區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個(gè)。第1、第二保管部20a、20b在各個(gè)第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個(gè)列相對(duì)于裝載端口lp的列在x方向?qū)χ门渲?。?保管部20a配置于相對(duì)于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯(cuò)開(kāi)的位置。第二保管部20b配置于相對(duì)于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯(cuò)開(kāi)的位置。在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向設(shè)置兩層。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于兩層，可也以設(shè)置一層或者三層以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以設(shè)置于地板面上，來(lái)代替從頂棚懸掛。第1交接端口30a設(shè)置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b設(shè)置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有與第1、第二保管部20a、20b相同的結(jié)構(gòu)，第1、第二保管部20a、20b中的一個(gè)或者多個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b使用。在本實(shí)施方式中。浦口區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！云龍區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

溧水區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！濱湖區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)原理

    以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型中支柱的放大剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型中控制頭的結(jié)構(gòu)示意圖?！ぞ唧w實(shí)施方式如圖I、圖2、圖3所示，本實(shí)用新型輕型真空搬運(yùn)機(jī)，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉桿4、真空泵13、連接管14、搬運(yùn)管15、真空吸盤裝置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋轉(zhuǎn)軸套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接與旋轉(zhuǎn)軸套6的下端固定連接，另一端則通過(guò)斜拉桿4與旋轉(zhuǎn)軸套6的上端固定連接。連接管14一端與真空泵13連通，另一端與搬運(yùn)管15連通，真空吸盤裝置安裝在搬運(yùn)管15的底端，搬運(yùn)管15滑動(dòng)連接安裝在旋臂3上。其中，固定柱5通過(guò)上蓋7和下蓋8固定在立柱I上。固定柱5與旋轉(zhuǎn)軸套6之間且由上而下依次安裝有并帽9、墊圈10、上軸承11、下軸承12。旋臂3的下端面上開(kāi)設(shè)有導(dǎo)軌17，搬運(yùn)管15的頂端與導(dǎo)軌17滑動(dòng)連接。導(dǎo)軌17上還滑動(dòng)連接有數(shù)個(gè)掛鉤18，靠近搬運(yùn)管15端的連接管14通過(guò)掛鉤18安裝在旋臂3上。真空泵13安裝在箱體16內(nèi)，箱體16置于地面上；搬運(yùn)管15為可伸縮式搬運(yùn)管。真空吸盤裝置包括控制頭19、數(shù)個(gè)吸盤20、操作手柄21。濱湖區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)原理