本實用新型涉及半導(dǎo)體加工制造領(lǐng)域，尤其涉及晶圓減薄機吸附裝置，具體為一種用于減薄機的真空吸盤。背景技術(shù)：晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。在硅晶圓正面制作完集成電路后，為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝，需要采用減薄機對晶圓進行背面減薄。一方面，晶圓減薄機在磨削過程中，需要將所磨削晶圓置于真空吸盤之上吸附進行磨削過程，對于所涉及的真空吸盤要求能夠有效的吸附晶圓，并且能夠保證吸盤主體的平整度，以及真空的均勻度，使得減薄機砂輪在磨削時吸附晶圓不發(fā)生位移，且吸盤在真空形成的負壓之下要能防止產(chǎn)生過大的形變；另一方面，由于加工制造成本相對較高，所以又要保證減薄機所用真空吸盤能夠利于更換多次磨削修整后的多孔陶瓷板，且所用底座能夠配合多個尺寸類型的真空吸盤。技術(shù)實現(xiàn)要素：有鑒于此，本申請?zhí)峁┮环N安裝方便，能夠保證減薄過程中吸盤主體的平整度和真空的均勻度，還能更換多孔陶瓷適于不同尺寸的吸盤配合于同一底座的用于減薄機的真空吸盤。為達到上述目的。浦口區(qū)常見真空吸盤推薦廠家！武進區(qū)糖袋真空吸盤品牌
使吸盤底座可承受重量大的待加工工件。密封件可在支撐凸塊形成的輪廓槽中構(gòu)成任意形狀的閉環(huán)輪廓，且閉環(huán)輪廓的高度大于支撐凸塊的高度，當(dāng)待加工工件放置在閉環(huán)輪廓上面時，待加工工件與閉環(huán)輪廓和吸盤底座構(gòu)成密閉的腔體，開啟抽氣裝置，會使腔體中的空氣通過通氣槽流入到吸盤底座的空腔中，再經(jīng)過空腔通過第1出氣口排到外界，使腔體成為真空腔體，利用氣壓原理將待加工工件固定在夾具上。吸盤底座上表面的中心處設(shè)有排料通口，吸盤底座側(cè)面設(shè)有出料口，排料通口的面積大于通氣槽的面積，可將加工時產(chǎn)生的廢屑由排料通口清理到吸盤底座空腔中，再由出料口排出，當(dāng)排料通孔處在密閉的腔體中時，還可與通氣槽起到相同的作用。本實用新型進一步設(shè)置為：所述吸盤底座上表面設(shè)有關(guān)于吸盤底座中心線對稱分布的輔助凸塊，輔助凸塊的橫截面積大于支撐凸塊的橫截面積，輔助凸塊和支撐凸塊高度相等，所述輔助凸塊上設(shè)有與空腔相通的輔助槽。通過上述技術(shù)方案，輔助凸塊與支撐凸塊高度相同，但輔助凸塊的橫截面積比支撐凸塊大，且輔助凸塊上設(shè)有與空腔相通的輔助槽，當(dāng)輔助凸塊處在密封件構(gòu)成的閉環(huán)輪廓中時，輔助槽會與通氣槽起到相同的作用，且不容易堵塞。徐匯區(qū)象鼻子真空吸盤原理江寧區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家！
工作原理：1、真空吸盤通過接管與真空設(shè)備接通，與待提升物接觸，起動真空設(shè)備抽吸，使吸盤內(nèi)產(chǎn)生負氣壓，從而將待提升物吸牢，即可開始搬送待提升物。2、當(dāng)待提升物搬送到目的地時，平穩(wěn)地充氣進真空吸盤內(nèi)，使真空吸盤內(nèi)由負氣壓變成零氣壓或稍為正的氣壓，真空吸盤就脫離待提升物，從而完成了提升搬送重物的任務(wù)。擴展資料：真空吸盤使用特點一、易損耗。一般用橡膠制造，直接接觸物體，磨損嚴重，所以損耗很快，是氣動易損件。二、易使用。不管被吸物體是什么材料做的，只要能密封，不漏氣，均能使用。電磁吸盤就不行，只能用在鋼材上，其他材料的板材或者物體是不能吸的。三、無污染。真空吸盤特別環(huán)保，不會污染環(huán)境，沒有光、熱，電磁等產(chǎn)生。四、不傷工件。真空吸盤由于是橡膠材料所造，吸取或者放下工件不會對工件造成任何損傷。而掛鉤式吊具和鋼纜式吊具就不行。在一些行業(yè)，對工件表面的要求特別嚴格，只能用真空吸盤。
本實用新型涉及數(shù)控加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，它涉及一種除塵型cnc真空吸盤。背景技術(shù)：現(xiàn)在使用的cnc數(shù)控加工中心真空吸盤夾具主要用于零件毛坯為鋁板、銅板、塑料板等材料的高效率加工，真空吸盤夾具主要用于易變形零件，可以保證零件平行度平面度等形位公差，相對傳統(tǒng)加工方法，真空吸盤具有裝夾拆卸方便、生產(chǎn)效率高的特點?，F(xiàn)有授權(quán)公告號為cnu的中國提供了一種cnc數(shù)控加工中心真空吸盤夾具，其包括吸盤、固定螺栓、密封橡膠條、支撐突起處、氣管連接頭、真空泵開關(guān)、真空表、氣孔、氣道、放置槽、氣管、三通管；吸盤內(nèi)設(shè)置有支撐突起處，吸盤內(nèi)設(shè)置有支撐突起，支撐突起處的中間位置開設(shè)有氣孔，支撐突起處的四周外側(cè)設(shè)置有放置槽，放置槽內(nèi)設(shè)置有密封橡膠條，通過密封橡膠條嵌入放置槽內(nèi)，可以隨意調(diào)整吸附尺寸，對真空吸盤上的工件進行牢固吸固。但是，在對真空吸盤上工件進行加工時容易產(chǎn)生較多廢屑，廢屑進入工件周圍的放置槽內(nèi)容易造成放置槽堵塞，當(dāng)操作人員需要調(diào)整吸附尺寸時，為保證密封橡膠條的密封性需要對放置槽內(nèi)的廢屑進行頻繁清洗，需要耗費大量的時間，降低了生產(chǎn)效率，因此有待改善。技術(shù)實現(xiàn)要素：針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足。溧水區(qū)包裝袋真空吸盤推薦廠家！
具體實施方式以下結(jié)合附圖，通過實例對本實用新型作進一步說明。參照附圖1-6，一種平面磨床通用真空吸盤，包含真空閥芯1、吸盤主體5、調(diào)整頂絲6和彈簧7，所述真空閥芯1的上半部為圓錐形，真空閥芯1的下半部為圓柱形；所述吸盤主體5由面板13、底板16和側(cè)板18構(gòu)成，中間形成真空室4，吸盤主體5上設(shè)有與真空室4連通的真空接頭9和多個貫通于面板13和底板16的通孔；吸盤主體5的每個通孔內(nèi)均設(shè)有一個真空閥芯1，真空閥芯1的上半部位于面板13的通孔內(nèi)，真空閥芯1的下半部通過調(diào)整頂絲6和彈簧7活動連接在底板16的通孔內(nèi)，所述調(diào)整頂絲6螺紋連接在底板16上，彈簧7設(shè)置在真空閥芯1和調(diào)整頂絲6之間。在本實施例中，參照附圖4、5，真空閥芯1，其上部為非標(biāo)準的圓錐面，頂針10采用15°圓錐角的圓錐面，以提高真空閥芯1的靈敏度參照附圖6，吸盤主體5為長方體，是整個吸盤的支撐結(jié)構(gòu)，包括面板13、底板16和側(cè)板18，中間形成真空室4；試樣密封2安裝在面板13的環(huán)形凹槽二15內(nèi)，用于密封試樣8與面板13上表面之間的間隙。參照附圖3所示，真空閥芯1、試樣密封2、閥芯密封3等呈矩形陣列分布在吸盤主體5內(nèi)，也可以呈圓形陣列分布。參照附圖1，真空閥芯1安裝在吸盤主體5的圓形通孔14內(nèi)。高淳區(qū)糖袋真空吸盤推薦廠家！高淳區(qū)工業(yè)真空吸盤哪家便宜
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所述支撐柱另一端固定連接有第1彈簧柱，且支撐柱通過第1彈簧柱與吸盤腔外壁兩側(cè)相連，所述外殼內(nèi)側(cè)下方通過第二彈簧柱與吸盤腔外壁下方相連，所述吸盤腔內(nèi)壁兩側(cè)開設(shè)有卡口，所述卡口之間可拆卸連接有過濾裝置，所述過濾裝置包括環(huán)形架、第1支撐架和第二支撐架，所述第1支撐架和第二支撐架均位于環(huán)形架內(nèi)側(cè)，且第1支撐架和第二支撐架交錯分布，所述第1支撐架和第二支撐架之間固定連接有過濾網(wǎng)，所述第1支撐架和第二支撐架的交接處內(nèi)腔均設(shè)置有中心定位塊，所述第1支撐架內(nèi)腔兩側(cè)均設(shè)置有卡桿，且卡桿位于中心定位塊兩側(cè)，所述卡桿另一端均貫穿第1支撐架并延伸至第1支撐架外部兩側(cè)，所述第1支撐架內(nèi)腔底端開設(shè)有滑軌，所述滑軌內(nèi)部滑動連接有滑動座，且滑動座上端與卡桿底壁固定連接，所述卡桿一端通過復(fù)位彈簧與中心定位塊相連，所述卡桿上方固定連接有移動塊，且移動塊另一端貫穿第1支撐架并延伸至第1支撐架外部上方。的，所述第1支撐架與第二支撐架內(nèi)部結(jié)構(gòu)相同。的，所述環(huán)形架外壁四周開設(shè)有與卡桿相適配的開口。的，所述吸盤腔頂端固定連接有連接接頭，且連接接頭貫穿外殼并延伸至外殼外部上方。的，所述吸盤腔外壁底端固定連接有密封圈。。武進區(qū)糖袋真空吸盤品牌
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