下垂臂19末端設(shè)有真空吸盤21，真空吸盤21下端吸有工件。該機械手利用真空吸附原理，將真空泵或真空鼓風(fēng)機作為真空源，通過抽空真空吸盤21內(nèi)的空氣產(chǎn)生真空，從而將各種工件牢牢吸起，并通過擺動主臂10、擺動副臂11、旋轉(zhuǎn)臂16、下垂臂19等將工件搬運到指定地點。該真空是由一個外部的真空泵或真空鼓風(fēng)機產(chǎn)生的，不需要鏈或繩子吊重機或其它的提升設(shè)備來抓取或提起的負載起重。通過檢測真空吸盤21內(nèi)的真空度，能自動識別下垂臂19上有無載荷，并經(jīng)氣動邏輯控制回路自動調(diào)整主升降氣缸5內(nèi)的氣壓，達到自動平衡的目的。工作時，重物猶如懸浮在空中，可避免產(chǎn)品對接時的碰撞，避免工件表面損傷。在機械手的工作范圍內(nèi)，作業(yè)員可將其移動到三維空間內(nèi)任意位置，從而實現(xiàn)工件的搬運、翻轉(zhuǎn)、裝配等操作。整機無須電控系統(tǒng)，只需壓縮空氣和真空源即可工作，非常方便。移動小車2用于更換工位，移動小車2上設(shè)有立柱4，立柱4頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座6，可實現(xiàn)機械手的主旋轉(zhuǎn)運動，并對周圍360°范圍內(nèi)的工件進行操作。真空搬運機械手的選型是根據(jù)需要搬運的工件大小、材質(zhì)、重量來定的，不同的材質(zhì)需要用不同材質(zhì)的吸盤。比如工件表面比較粗糙的一般選項用硅膠或者聚胺脂吸盤。溧水區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！蘇州象鼻子真空搬運機原理

    第1、第二起重機40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。高架搬運車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進行物品2的交接。圖5是表示高架搬運車50的一個例子的圖。如圖5所示，高架搬運車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅(qū)動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著頂棚軌道10行駛。行駛驅(qū)動部例如可以是設(shè)置于行駛部51且驅(qū)動車輪71a的電動馬達，也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達。主體部52經(jīng)由安裝部52a安裝于行駛部51的下部。主體部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驅(qū)動部54，其懸掛保持部53且使其升降；以及橫向伸出機構(gòu)55，其使升降驅(qū)動部54移動。保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部53a的卡盤，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。常州多功能真空搬運機供應(yīng)棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家！

本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    高架搬運車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對交接端口130進行物品2的交接，并且，也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對交接端口130進行物品2的交接。其結(jié)果是，第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運車50能夠以不進入第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與第1、第二起重機40a、40b之間進行物品2的交接。第1起重機40a在第1保管區(qū)域sa1搬運物品2。第二起重機40b在第二保管區(qū)域sa2搬運物品2。圖4是表示第1、第二起重機40a、40b的一個例子的圖。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b使用懸掛式起重機。由于第1、第二起重機40a、40b是懸掛式起重機，因此無需在與第1、第二起重機40a、40b對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，從而能夠以低成本設(shè)置起重機用的軌道。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺43a、43b、第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。雨花臺區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。六合區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家！睢寧米袋真空搬運機推薦廠家

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    活動架驅(qū)動塊71裝設(shè)有活動架驅(qū)動軸72，活動架驅(qū)動軸72伸入至固定安裝豎板11的活動槽111內(nèi)且活動架驅(qū)動軸72裝設(shè)有嵌插于活動槽111內(nèi)的軸承73；固定安裝豎板11的后表面裝設(shè)有機械手驅(qū)動電機8，機械手驅(qū)動電機8的動力輸出軸裝設(shè)有位于活動槽111旁側(cè)且用于撥動活動架驅(qū)動軸72動作的驅(qū)動軸撥動塊9。需進一步指出，水平導(dǎo)軌副4包括有螺裝于固定安裝豎板11且沿著左右方向水平延伸的水平導(dǎo)軌41、螺裝于中間活動板2的水平滑塊42，水平導(dǎo)軌41與水平滑塊42相配合。另外，豎向?qū)к壐?包括有設(shè)置于前端活動架3且呈豎向布置的豎向?qū)к?1、螺裝于中間活動板2的豎向滑塊52，豎向?qū)к?1與豎向滑塊52相配合。在本實用新型產(chǎn)品移送動作的過程中，機械手驅(qū)動電機8驅(qū)動驅(qū)動軸撥動塊9擺動，擺動的驅(qū)動軸撥動塊9驅(qū)動活動架驅(qū)動軸72擺動，在此過程中，軸承73與活動槽111相配合并實現(xiàn)對活動架驅(qū)動軸72導(dǎo)向，以使得活動架驅(qū)動軸72沿著活動槽111移動，且活動架驅(qū)動軸72帶動前端活動架3同步移動，并實現(xiàn)上升、下降動作。其中，本實用新型通過真空吸盤62吸附抓取產(chǎn)品。需強調(diào)的是，本實用新型只通過一電機即可實現(xiàn)真空吸盤62上升、下降動作，結(jié)構(gòu)簡單。綜合上述情況可知，通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計。蘇州象鼻子真空搬運機原理

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