但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如，在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運(yùn)車50的移動(dòng)路徑中配置儲(chǔ)料機(jī)(自動(dòng)倉庫)等。儲(chǔ)料機(jī)例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車50可以能夠針對(duì)該儲(chǔ)料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接，例如，能夠在儲(chǔ)料機(jī)與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請(qǐng)的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻(xiàn)的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標(biāo)記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機(jī)；40b…第二起重機(jī)；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺(tái)；43b…第二升降臺(tái)。六合區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！云龍區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好

    并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個(gè)裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部12a彼此連接。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設(shè)置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。云龍區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好棲霞區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    將沿上下方向和y方向排列的多個(gè)第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b，并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對(duì)第1、第二交接端口30a、30b標(biāo)注影線。這樣，作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層，由此能夠通過高架搬運(yùn)車50和第1、第二起重機(jī)40a、40b雙方進(jìn)行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個(gè)，能夠?qū)⑤^上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的較上層。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以與第1、第二保管部20a、20b設(shè)置。例如，如圖1所示，也可以在俯視下，在第1區(qū)段間頂棚軌道13與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第1區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間設(shè)置交接端口130。第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)該交接端口130進(jìn)行物品2的交接。另外。雨花臺(tái)區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    各子吸盤下端面相平，所述子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設(shè)置有皮套。進(jìn)一步地，所述皮套中間位置連接有向上的拉桿，所述氣罩上端與拉桿對(duì)應(yīng)位置處開有導(dǎo)向孔，所述氣罩上環(huán)繞導(dǎo)向孔還環(huán)繞設(shè)置有2-6個(gè)氣孔，所述氣孔下端外側(cè)還設(shè)置有緩沖環(huán)，所述拉桿上還設(shè)置有擋板，擋板隨拉桿上升時(shí)能夠與緩沖環(huán)密封，所述拉桿上端還設(shè)置有限位環(huán)。進(jìn)一步地，所述皮套中間位置設(shè)置有夾板，所述拉桿與夾板相連。進(jìn)一步地，所述擋板截面為向下的錐形。進(jìn)一步地，所述密封腔的上壁和下壁之間設(shè)置有3-6根支撐桿。進(jìn)一步地，所述氣罩靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積。本實(shí)用新型的有益效果在于：增加子吸盤，子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設(shè)置有皮套，任一個(gè)子吸盤吸附石板均能夠?yàn)槭逄峁┲?；設(shè)置皮套能夠保證不與石板密封的子吸盤不漏氣；設(shè)置拉桿、導(dǎo)向孔、擋板、限位環(huán)、氣孔、緩沖環(huán)，能夠有效的限制皮套的變形量，在保證真空吸力的情況下避免拉壞皮套，提高使用壽命；設(shè)置夾板，能夠提高皮套的受力面積，保證皮套使用壽命；設(shè)置支撐桿，能夠防止密封腔變形。附圖說明圖1為真空吸吊機(jī)結(jié)構(gòu)圖示意圖。棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！云龍區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好

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    并使轉(zhuǎn)動(dòng)部件圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)部通過來自轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力而轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠使升降驅(qū)動(dòng)部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。通過該轉(zhuǎn)動(dòng)部能夠?qū)⒈槐３植?3保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運(yùn)車50也可以不具備轉(zhuǎn)動(dòng)部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個(gè)例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外，對(duì)于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結(jié)構(gòu)制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個(gè)車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內(nèi)表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個(gè)車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。云龍區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好

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