本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。江寧區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！濱湖區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

    另外加上海綿吸盤唇，確保吸盤能安全吸附。對(duì)于表面比較光滑的工件如玻璃一般選用天然橡膠或者丁腈膠吸盤。機(jī)械手的工作環(huán)境的溫度，濕度以及工件溫度等都會(huì)影響的吸盤材質(zhì)的選擇。權(quán)利要求1.一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，含有萬向輪、移動(dòng)小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動(dòng)主臂、擺動(dòng)副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，其特征是移動(dòng)小車截面呈長(zhǎng)方形，其底部四角各設(shè)有一萬向輪，移動(dòng)小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，立柱頂端與大側(cè)板右側(cè)下端相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動(dòng)主臂位于擺動(dòng)副臂下側(cè)并與擺動(dòng)副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置，旋轉(zhuǎn)臂末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座。濱湖區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家雨花臺(tái)區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    在圖1至圖3中包括有：1——機(jī)械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動(dòng)槽12——豎板固定座2——中間活動(dòng)板3——前端活動(dòng)架4——水平導(dǎo)軌副41——水平導(dǎo)軌42——水平滑塊5——豎向?qū)к壐?1——豎向?qū)к?2——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊72——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸73——軸承8——機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)9——驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體的實(shí)施方式來對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手，包括有機(jī)械手安裝架1，機(jī)械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進(jìn)一步的，固定安裝豎板11的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板2、前端活動(dòng)架3，前端活動(dòng)架3位于中間活動(dòng)板2的前端側(cè)，中間活動(dòng)板2與固定安裝豎板11之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副4，前端活動(dòng)架3與中間活動(dòng)板2之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活動(dòng)架3的下端部裝設(shè)有吸盤安裝架61，吸盤安裝架61裝設(shè)有真空吸盤62。更進(jìn)一步的，固定安裝豎板11的前表面開設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽111，前端活動(dòng)架3螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊71。

    第1區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由第1連接軌道15與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的一個(gè)端部(+y側(cè)的端部)連結(jié)。第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的另一個(gè)端部(-y側(cè)的端部)連結(jié)。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個(gè)軌道。入口部15a形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作為兩個(gè)軌道。入口部16a形成供高架搬運(yùn)車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管區(qū)域sa1。如圖1所示。江寧區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    可旋轉(zhuǎn)360°，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂上設(shè)有扶手，扶手上設(shè)有電腦控制盒，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤，真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，屬于一種機(jī)械手。機(jī)械手立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置，旋轉(zhuǎn)臂末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤。該機(jī)械手利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡(jiǎn)單、運(yùn)作省力、高效安全。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！常州工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

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    驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制，使第1、第二升降臺(tái)43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制，將第1、第二升降臺(tái)43a、43b保持于目標(biāo)高度。雖然第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(第1、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如也可以設(shè)置于第1、第二升降臺(tái)43a、43b。作為在第1、第二升降臺(tái)43a、43b設(shè)置第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b的結(jié)構(gòu)，例如可以利用搭載于第1、第二升降臺(tái)43a、43b的升降機(jī)等對(duì)從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進(jìn)行卷起或者抽出而使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降臺(tái)43a、43b搭載用于驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等，在第1、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。如圖4所示，第1、第二起重機(jī)40a、40b在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，第1、第二起重機(jī)40a、40b將物品2從當(dāng)前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬運(yùn)。例如。濱湖區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。目前我公司在職員工以90后為主，是一個(gè)有活力有能力有創(chuàng)新精神的團(tuán)隊(duì)。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括：氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨，深受客戶好評(píng)。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德，樹立了良好的氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通形象，贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。