轉(zhuǎn)動夾1032遠離支架102的一端的齒型結(jié)構(gòu)插入至鎖定板104較厚部分的槽中,從而壓住轉(zhuǎn)動夾1032,達到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調(diào)整機構(gòu)的立體圖。如圖6所示,長度調(diào)整機構(gòu)2包括內(nèi)調(diào)節(jié)桿201、外調(diào)節(jié)桿202和開關結(jié)構(gòu)203。內(nèi)調(diào)節(jié)桿201為空心矩形桿,其相對的兩個側(cè)壁設有等間隔直線排列的多個固定孔2011,每兩個相對的固定孔2011為一個長度調(diào)節(jié)檔位。外調(diào)節(jié)桿202也為空心矩形桿,其內(nèi)孔為與內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調(diào)節(jié)桿202一端開口,而內(nèi)調(diào)節(jié)桿201從此開口處插入外調(diào)節(jié)桿202的內(nèi)孔中。并且外調(diào)節(jié)桿202能套在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外做直線往復移動,完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位,可如圖6所示,在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁上位于兩個同一側(cè)壁的固定孔2011之間的位置設置軸向環(huán)繞內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外,外調(diào)節(jié)桿202外壁的中部位置還設有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結(jié)構(gòu),包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠離長邊梁的一端連接在外調(diào)節(jié)桿202的一個側(cè)壁上,形成一個封閉的矩形。在調(diào)整長度時,航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調(diào)節(jié)桿202做遠離或靠近艙壁助力扶手a的運動。浦口區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家!蘇州糖袋氣動懸臂吊原理
所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿上設置有多個固定孔,所述開關結(jié)構(gòu)包括支承在所述外調(diào)節(jié)桿上的殼體,在所述殼體內(nèi)可往復移動的鎖定銷,位于所述殼體外與所述鎖定銷的一端轉(zhuǎn)動連接用于控制所述鎖定銷插入所述固定孔或者脫離所述固定孔的凸輪手柄。根據(jù)本發(fā)明的一個方面,所述殼體包括主體和位于所述主體之上的蓋板,所述鎖定銷包括安裝端和插銷端,所述安裝端穿過所述蓋板與所述凸輪手柄的凸輪端轉(zhuǎn)動連接,所述插銷端位于所述主體內(nèi),其與所述蓋板之間設置有用于配合所述凸輪手柄控制所述鎖定銷往復移動的彈性件。根據(jù)本發(fā)明的一個方面,所述長度調(diào)整機構(gòu)包括設置在所述外調(diào)節(jié)桿上的扶手。根據(jù)本發(fā)明的一個方面,所述萬向接頭結(jié)構(gòu)包括球形槽和第二球頭;所述球形槽與所述外調(diào)節(jié)桿的端部固定連接;所述末端助力機構(gòu)包括末端扶手和與所述末端扶手連接的連桿;所述第二球頭與所述連桿固定連接。根據(jù)本發(fā)明的一個方案,夾持件中的固定夾固定在支架上,轉(zhuǎn)動夾鉸接在支架上,壓簧設置在轉(zhuǎn)動夾與支架之間。使得夾持件可以牢固的夾持在艙壁助力扶手上,從而使整個助力裝置固定。而加緊艙壁扶手后,將鎖定板旋轉(zhuǎn)90°即可將夾持件鎖緊。防滑手柄兩側(cè)設有多個等間隔排列的圓弧形凹陷,可以增大摩擦力。蘇州糖袋氣動懸臂吊原理江寧區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家!
增設可調(diào)節(jié)高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的,這里不做詳細介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關系,可對兩個滑道的傾角進行調(diào)整,并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規(guī)格產(chǎn)品時,摩擦系數(shù)變化所帶來的影響。此外,對于長距離滑道運輸?shù)膱鼍埃€可在上述實施例的基礎上增設前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端,而其頂端對接于前段設備,在本實施例中,因為前段設備為一輸送皮帶,在前段滑道400的頂端增設有u字形缺口,貼合皮帶端頭的外形,同時為防止物料卡包,對u字形缺口的邊緣進行卷邊處理。為了對前段滑道400進行必要的支撐,至少要有一支撐腿500對滑道進行固定。如圖3所示,為了快捷的調(diào)整絞索600的拉線長度,增設一種絞索固定件,其包括一個滑輪121、旋鈕122和卡塊123。滑輪121轉(zhuǎn)軸固定在塔架100上。卡塊100為金屬件,在本實施例中具體選用316l,其帶有第1通道123a和第二通道123b,二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個連接筋124,分別鉸接于滑輪121轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)。絞索600穿過第1通道123a后繞過滑輪121,然后穿過第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側(cè)壁插入,并接通第二通道123b。
末端扶手301同樣為矩形框,有兩個長邊梁和兩個短邊梁組成。連桿302為圓柱形桿件,其可轉(zhuǎn)動地插在末端扶手301的一個長邊梁上,且該長邊梁與兩個短邊梁連接處為圓弧形。由此,末端扶手301可繞連桿302的軸線轉(zhuǎn)動。結(jié)合圖6可知,萬向接頭結(jié)構(gòu)5包括球形槽501和第二球頭502。球形槽501為一個由兩部分組成的空心殼體,其一部分為截頭圓錐形殼體,另一部分為從截頭圓錐形殼體錐底向遠處延伸的一段球面殼體。截頭圓錐形殼體的錐頂固定在外調(diào)節(jié)桿202未開口的一端。而球形槽501的球面殼體部分遠離外調(diào)節(jié)桿202的一端設有開口。如圖9所示,第二球頭502固定在連桿302遠離末端扶手301的一端。其設置在球形槽501中,并可自由轉(zhuǎn)動,使得萬向接頭結(jié)構(gòu)5形成類似關節(jié)的結(jié)構(gòu)。結(jié)合圖2和圖6可知,萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)4包括球頭401、弧形槽402、鎖緊件403和阻尼件404(參見圖10)。如圖2所示,弧形槽402為球形殼體,其固定在防滑手柄101遠離支架102的一端。而弧形槽402遠離防滑手柄101的一端設有開口,而弧形槽402的兩側(cè)設有開孔4021(參見圖10),該開孔4021為螺紋孔。如圖6所示,球頭401通過一圓柱形桿件固定在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201未插入外調(diào)節(jié)桿202中的一端。同樣,球頭401設置在弧形槽402的內(nèi)部。浦口區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家!
所述的手指固定座33上設置有插槽41,所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤、氣缸機械手等。所述的手指固定座33上還設置有掃描傳感器42,掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號探測設備。使用時,升降軸1進行機械手的豎直上升下降工作,旋轉(zhuǎn)軸2進行機械手的水平旋轉(zhuǎn)工作,伸展軸3進行機械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運機械手,本申請中伸展軸3中的一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動,一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動機構(gòu),通過一級關節(jié)5、二級關節(jié)6和三級關節(jié)7之間的一級同步帶52和二級同步帶64在一級伸展臂31轉(zhuǎn)動的同時,帶動二級伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動,在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動的同時讓手指固定座33始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。這種方式不僅簡化了整個伸展軸3傳動結(jié)構(gòu),共用一個傳動系后不僅提高了運行精度、重復定位精度,又提高了機械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機械手可以通過設定在機械手后方的掃描傳感器42,自動掃描片盒中晶片的狀態(tài)(包括:有,無,重片,斜片),通過數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設備控制系統(tǒng)。浦口區(qū)多功能氣動懸臂吊推薦廠家!睢寧象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家
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如圖1至圖3所示,一種晶圓搬運機械手,包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3,所述的伸展軸3包括伸展電機34、一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33,所述的一級伸展臂31與所述伸展電機34之間設置有一級關節(jié)5,所述的一級伸展臂31與所述的二級伸展臂32之間設置有二級關節(jié)6,所述的二級伸展臂32和所述的手指固定座33之間設置有三級關節(jié)7。所述的伸展電機34通過諧波減速機35驅(qū)動所述一級伸展臂31轉(zhuǎn)動。所述的伸展電機34、所述的一級關節(jié)5、所述的二級關節(jié)6和所述的三級關節(jié)7依次傳動,所述的一級關節(jié)5、所述的二級關節(jié)6和所述的三級關節(jié)7的傳動比為1:2:1,根據(jù)本機械手的運動原理,所述的手指固定座34始終保持直線運動。所述的一級關節(jié)5上設置有一級同步輪51,所述的二級關節(jié)6上設置有二級同步輪61,所述的一級同步輪51和所述的二級同步輪61通過一級同步帶52傳動連接,所述的一級伸展臂31內(nèi)還設置有與所述一級同步帶52相配合的一級張緊輪53。所述的二級關,6上設置有三級同步輪62,所述的三級關節(jié)7上設置有四級同步輪71,所述的三級同步輪63和所述的四級同步輪71通過二級同步帶64傳動連接,所述的二級伸展,32內(nèi)還設置有與所述二級同步帶64相配合的二級張緊輪63。蘇州糖袋氣動懸臂吊原理
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