探針臺-芯片測試必備設(shè)備，芯片測試必備設(shè)備之手動探針臺，集成單筒顯微鏡帶高清1080PCCD相機(jī)，較大變焦后可清晰觀看1微米光刻晶圓ID號。配置三維磁吸探針座，1微米移動。加載同軸LED光源，實(shí)現(xiàn)高清芯片內(nèi)部電路圖像對比度，可觀察芯片之美。探針針尖可小于1微米對芯片電極扎針接觸，連接電源等儀器就可以對芯片進(jìn)行測試?yán)?。半?dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。上海12寸探針臺哪家好

探針測試臺x-y工作臺的分類，縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。上海12寸探針臺哪家好探針臺的建設(shè)需要尊重自然和秉持可持續(xù)發(fā)展理念。

探針臺分類，探針臺從操作上來區(qū)分有:手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺，真空探針臺(較低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動型，根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)；X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)；chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離；顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)；顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)；探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。

承片臺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動對準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn)，茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ；為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度，抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高，同時(shí)承片 臺要具備極高的剛性，而且在150 mm 的臺面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復(fù) 移動，實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型（外圈分隔，內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn)）支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中，因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷，具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造，軸承間隙可調(diào)整。探針臺能夠?yàn)槿祟愇幕涂萍嫉牟粩噙M(jìn)步提供有力技術(shù)支持。

極低溫測試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。探針臺的工作需要合理規(guī)劃和有條不紊的執(zhí)行。上海12寸探針臺哪家好

探針臺能夠捕捉到宇宙中不同能量和波長的輻射線，并運(yùn)用檔次高技術(shù)解析這些信息。上海12寸探針臺哪家好

對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用專門使用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0．4±0．04MPa。上海12寸探針臺哪家好