半自動(dòng)型,chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測(cè)試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品;電動(dòng)型;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡。探針臺(tái)的科學(xué)研究成果對(duì)推動(dòng)人類的科學(xué)技術(shù)進(jìn)步有著舉足輕重的作用。電學(xué)溫控探針臺(tái)價(jià)位
全球半導(dǎo)體設(shè)備支出進(jìn)入上升周期。5G、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能以及汽車電 子等新技術(shù)和新產(chǎn)品的應(yīng)用,將帶來(lái)龐大的半導(dǎo)體市場(chǎng)需求,行業(yè)將進(jìn)入新一輪的 上升周期。半導(dǎo)體設(shè)備位于產(chǎn)業(yè)鏈的上游,其市場(chǎng)規(guī)模隨著下游半導(dǎo)體的技術(shù)發(fā)展 和市場(chǎng)需求而波動(dòng)。根據(jù) SEMI 預(yù)測(cè),2020 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)創(chuàng)紀(jì)錄 的 689 億美元,同比增長(zhǎng) 16%,2021 年將達(dá) 719 億美元,同比增長(zhǎng) 4.4%,2022 年仍舊保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),市場(chǎng)將達(dá) 761 億美元,同比增長(zhǎng) 5.8%。電學(xué)溫控探針臺(tái)價(jià)位探針臺(tái)的科技成果對(duì)推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動(dòng)人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。
隨著5G、汽車?yán)走_(dá)等技術(shù)的發(fā)展,在片測(cè)試也進(jìn)入了亞毫米波/太赫茲頻段,對(duì)在片測(cè)試技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。在片測(cè)量系統(tǒng):微波射頻在片測(cè)量系統(tǒng)一般由射頻/微波測(cè)量?jī)x器和探針臺(tái)及附件組成。 微波射頻在片測(cè)量系統(tǒng)中,探針臺(tái)和探針用于芯片測(cè)量端口與射頻測(cè)量?jī)x器端口(同軸或波導(dǎo))之間的適配;微波射頻測(cè)量?jī)x器完成各項(xiàng)所需的射頻測(cè)量。探針臺(tái)(Probe Station):探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過(guò)與測(cè)試儀器的配合,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,較大程度上降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)使用方式:1、將樣品載入真空卡盤(pán),開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2、使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。探針臺(tái)可以通過(guò)觀測(cè)宇宙現(xiàn)象來(lái)解開(kāi)地球和人類的謎團(tuán)。
探針臺(tái)(Prober station)又稱探針測(cè)試臺(tái),主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對(duì)晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測(cè)試或故障分析而使用得精密機(jī)臺(tái),通過(guò)探針臺(tái)能很好得幫助工程技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測(cè)試。探針臺(tái)的發(fā)展需要國(guó)際合作和共同努力。安徽X8M探針臺(tái)廠家直銷
探針臺(tái)是人類探索宇宙、了解自身的一所寶庫(kù)。電學(xué)溫控探針臺(tái)價(jià)位
讓一個(gè)好的探針臺(tái)與眾不同并為您的測(cè)試增加價(jià)值的是它能夠精確控制這些探針在設(shè)備上的位置、外部刺激的應(yīng)用方式以及測(cè)試發(fā)生時(shí)設(shè)備周圍的環(huán)境條件。探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤(pán)定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測(cè)設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測(cè)設(shè)備和探頭先進(jìn)。電學(xué)溫控探針臺(tái)價(jià)位