光學(xué)設(shè)備隔振平臺(tái),作為一種專為光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的精密設(shè)備,其主要功能在于通過(guò)特殊的隔振機(jī)制減少或消除振動(dòng)干擾,確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。該平臺(tái)普遍應(yīng)用于光學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域,是保障高精度光學(xué)實(shí)驗(yàn)順利進(jìn)行的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。隔振原理概述,光學(xué)設(shè)備隔振平臺(tái)的工作原理基于振動(dòng)分離與衰減的原理。它通過(guò)多級(jí)隔振系統(tǒng),將不同頻率的振動(dòng)分別隔離開來(lái),從而有效阻斷外界振動(dòng)對(duì)光學(xué)器件的影響。這一系統(tǒng)通常由平臺(tái)基礎(chǔ)、隔振元件和控制系統(tǒng)等部分組成,旨在提供一個(gè)穩(wěn)定、低振動(dòng)的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。隔振平臺(tái)的設(shè)計(jì)考慮到設(shè)備負(fù)載能力,需根據(jù)具體應(yīng)用進(jìn)行選型。上海水泵隔振平臺(tái)參考價(jià)
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,以IC制造裝備、高分辨率電子顯微鏡、表面粗糙度測(cè)試儀和精密光學(xué)設(shè)備等為表示的精密制造設(shè)備、精密測(cè)量設(shè)備得到了越來(lái)越普遍的應(yīng)用,其對(duì)精度的要求越來(lái)越高。作為實(shí)現(xiàn)高精度的重要基礎(chǔ)設(shè)備,隔振裝置能隔離地基和環(huán)境振動(dòng)對(duì)精密設(shè)備的影響,給振動(dòng)敏感的設(shè)備提供"安靜"的工作環(huán)境,保證精密設(shè)備的正常運(yùn)行?;诹杂啥雀粽衿脚_(tái),通過(guò)將主動(dòng)隔振技術(shù)、被動(dòng)隔振技術(shù)、空間六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)、柔性機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)等多種方法相結(jié)合,能夠剛性傳遞低頻姿態(tài)控制信號(hào),衰減高頻干擾信號(hào)并且無(wú)諧振的六自由度隔振平臺(tái)。采用六自由度平臺(tái)主動(dòng)隔振裝置能實(shí)現(xiàn)六自由度控制的全解耦,應(yīng)用靈活。該隔振裝置能在六自由度 上實(shí)現(xiàn)對(duì)低頻擾動(dòng)的有效抑制和高頻振動(dòng)的隔離。天津氣壓式隔振平臺(tái)批發(fā)隔振平臺(tái)是一種用于減輕振動(dòng)對(duì)設(shè)備影響的支撐結(jié)構(gòu),普遍應(yīng)用于精密儀器。
隔振平臺(tái)分為被動(dòng)隔振平臺(tái)和主動(dòng)隔振平臺(tái)兩種。被動(dòng)隔振平臺(tái)通過(guò)使用參數(shù)固定的彈簧和阻尼器等元件,完成對(duì)外部振動(dòng)衰減,該形式具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,性價(jià)比高和適合高頻隔振等優(yōu)點(diǎn),但是它對(duì)低頻和較低頻的隔振效果不理想。同時(shí)因?yàn)楸粍?dòng)隔振平臺(tái)的系統(tǒng)特征值為定值,響應(yīng)時(shí)間比較長(zhǎng),需要很長(zhǎng)的穩(wěn)定時(shí)間,所以被動(dòng)隔振平臺(tái)越來(lái)越不適合高精度,快響應(yīng)的應(yīng)用需求。分類:隔振技術(shù)分為主動(dòng)隔振和被動(dòng)隔振,主動(dòng)隔振:通過(guò)傳感器和執(zhí)行器,提供大小相等,方向相反的力,抵消振動(dòng)對(duì)目標(biāo)的影響;被動(dòng)隔振:通過(guò)機(jī)械裝置限制振動(dòng)無(wú)源隔振:使用彈簧,彈性體,流體,或負(fù)剛度組件實(shí)現(xiàn)減振有源隔振:使用氣動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。
阻尼,如果沒(méi)有阻尼,系統(tǒng)將在靜止前振動(dòng)很長(zhǎng)一段時(shí)間——至少幾秒鐘。阻尼可消耗系統(tǒng)的機(jī)械能,使衰減更迅速。例如,當(dāng)音叉頂端浸入水中時(shí),振動(dòng)幾乎立即減弱。同樣,當(dāng)手指輕觸共振物塊——懸臂梁系統(tǒng)時(shí),該阻尼裝置也會(huì)迅速的消耗振動(dòng)能量。理想簡(jiǎn)諧振動(dòng),一個(gè)與理想線性彈簧連接的固定物塊M可產(chǎn)生簡(jiǎn)諧振動(dòng),如下圖所示。彈簧長(zhǎng)度變化Δx與應(yīng)力F的關(guān)系可表示為Δx = CF,其中C是彈簧順應(yīng)性系數(shù)(Compliance),與彈簧彈性系數(shù)k成反比:k=1/C。在彈簧——物塊系統(tǒng)中,當(dāng)彈簧末端發(fā)生頻率為,較大振幅為|u|的正弦運(yùn)動(dòng)時(shí),物塊M將產(chǎn)生較大振幅為|x|,頻率同樣為ω的正弦運(yùn)動(dòng)。物塊運(yùn)動(dòng)|x|的振幅與彈簧末端運(yùn)動(dòng)|u|的振幅的穩(wěn)態(tài)比即振動(dòng)傳遞率T(Transmissibility),而系統(tǒng)的共振頻率或固有頻率ω0可表示為隔振平臺(tái)的設(shè)計(jì)理念強(qiáng)調(diào)輕巧性與堅(jiān)固性,兼具高效與安全。
光學(xué)隔振平臺(tái)結(jié)構(gòu):1、鋼鐵結(jié)構(gòu),優(yōu)良平臺(tái)和面包板應(yīng)采用全鋼結(jié)構(gòu),包括厚度為5mm的頂板和底板,以及厚度為0.25mm的焊接鋼蜂窩芯..蜂窩由精密壓膜工具制成,其幾何間距由焊接平墊片保證。平臺(tái)面包板中的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板,中間沒(méi)有過(guò)渡層,形成更堅(jiān)固的平臺(tái)產(chǎn)品,熱穩(wěn)定性更強(qiáng)。2、熱穩(wěn)定性,熱穩(wěn)定性的關(guān)鍵在于在所有軸向上對(duì)稱和均勻的鋼結(jié)構(gòu)。鋼件在熱交換過(guò)程中的延展性和收縮性相似,在溫度變化過(guò)程中能保持良好的平直度。鋼蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板,中間沒(méi)有塑料或鋁的泄漏管理結(jié)構(gòu),因此不會(huì)降低平臺(tái)的整體剛度或引入更高的熱膨脹系數(shù)。我們用鋼側(cè)板代替木板,這樣就消除了濕度帶來(lái)的環(huán)境不穩(wěn)定。隔振平臺(tái)的穩(wěn)定性與靈活性相結(jié)合,為現(xiàn)代設(shè)備提供了多樣化的應(yīng)用。天津氣壓式隔振平臺(tái)批發(fā)
主動(dòng)隔振依靠傳感器和執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)時(shí)調(diào)整,消減震動(dòng)影響,提高設(shè)備穩(wěn)定性。上海水泵隔振平臺(tái)參考價(jià)
固有頻率隨物塊質(zhì)量M或彈簧順應(yīng)性C的增加(更柔軟)而降低。振動(dòng)傳遞率曲線表征于下圖:該系統(tǒng)三個(gè)突出的特征為:1)振動(dòng)頻率遠(yuǎn)低于系統(tǒng)固有頻率時(shí),傳遞率T=1,因此物塊的運(yùn)動(dòng)幅度與彈簧另一端相同。2)接近固有頻率時(shí),彈簧末端的運(yùn)動(dòng)幅度增強(qiáng),物塊|x|的運(yùn)動(dòng)振幅大于彈簧末端的運(yùn)動(dòng)|u|振幅。對(duì)于一個(gè)無(wú)阻尼系統(tǒng)(ζ=0),物塊的運(yùn)動(dòng)振幅此時(shí)在理論上會(huì)變得無(wú)限大。3)遠(yuǎn)高于系統(tǒng)固有頻率時(shí),物塊位移|x|與1/ω2成比例地減少。在這種情況下,系統(tǒng)產(chǎn)生的位移不能傳遞至物體,也就是說(shuō)彈簧充當(dāng)了隔離器。上海水泵隔振平臺(tái)參考價(jià)