真空技術中的清潔處理 (一)概述    真空技術清潔處理一般指的是真空裝置的結構材料、填裝材料和真空零(部)件的清潔處理。去除或減少污染物將有利于獲得良好真空，增加連接強度和氣密性，提高產品的壽命 和可靠性。 (二)污染物的幾種類型 ①油脂:加工、安裝和操作時沾染的潤滑劑、真空油脂等; ②水滴:操作時的手汗，吹玻璃時的唾液等; ③表面氧化物:易氧化材料長期基露或放置在潮濕大氣中所形成的表面氧化物; ④酸、堿、鹽類物質:清洗后的殘余物質、手汗、自來水中的礦物質等; ⑤空氣中的塵埃及其它有機物。 (三)污染的形成及其影響 真空裝置由許多不同的零件組成，它們都是經過各種機械加工完成的，如車、銑、刨、磨、銼、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環(huán)境中，這些氣體也要被釋放出來。構成了限制真空設備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須掉污染物。正離子堆積：靶中毒時，靶面形成一層絕緣膜。鎮(zhèn)江Re靶材綁定

其他服務:打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工服務?；厥樟鞒倘缦?稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品江陰典譽新材料科技有限公司，是專業(yè)從事鍍膜材料、合金制備等相關材料研發(fā)、銷售、服務為一體的全球化高科技綜合性公司。以業(yè)內 企業(yè)為支撐，整合技術資源，擁有自主進出口經營權和成熟的運營管理團隊，科學化管理運營，為公司向化、高新化發(fā)展奠定了基礎。典譽新材料在光電器件、芯片半導體、太陽能電池、光學鍍膜、航空航天、 、冶金、功能材料、新能源等行業(yè)產品開發(fā)、創(chuàng)新方面，有著得天獨厚的優(yōu)勢。以客戶需求為導向，以前沿技術為基礎，開發(fā)了多個產品系列，涵蓋濺射靶材、蒸鍍膜料、高純合金、金屬粉末、耗材配件等千余種產品，質量穩(wěn)定、工藝完善，得到廣大客戶好評。典譽新材料堅持“誠信為本、高質的經營理念，關注客戶需求，追求客戶滿意，以服務求生存，以質量求發(fā)展，不斷優(yōu)化產品線，為廣大用戶提供一站式服務，力爭做全球 的金屬材料供應商。常州GeSe2靶材廠家許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮，下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。

濺射鍍膜不良膜層分析，改善方法： 1.白霧主要表現(xiàn)：膜層外觀一層白霧。 原因分析及改善：（白霧可擦拭）：外層膜松散粗糙；出爐溫差大；潮氣吸附；膜層結構不均勻；反應氣體不足/不均勻；外層膜應力大等。     （白霧不可擦拭）：殘留臟污；材腐蝕污染；膜層之間不匹配；反應氣體不足/不均勻；基材受潮污染；真空室臟有水汽；環(huán)境溫差大。 2.發(fā)蒙主要表現(xiàn)：膜層表面粗糙無光。 原因分析及改善：設備漏氣；反應氣體故障；膜層過厚；偏壓故障；       3.色斑主要表現(xiàn)：局部膜色變異。 原因分析及改善：腐蝕，局部折射率改變；前道工程夾具加工方法痕跡（形狀規(guī)則、部位一致、界限分明）； 周轉運輸庫存過程留下痕跡；研磨拋光殘留；多層膜系中，部分膜層過薄；機組微量返油。 4.打火 5.碰擦傷主要表現(xiàn)：劃痕碰傷。 原因分析及改善：劃痕有膜層：鍍前碰擦傷；劃痕無膜層（漏基材）：鍍后碰擦傷。

真空離子鍍在航空航天方面的應用： 在現(xiàn)代飛機、航空發(fā)動機或航空儀表中，特別是在航宇器，如宇宙飛船、人造衛(wèi)星中，有不少旋轉零件都要求有良好的潤滑，但往往由于封存過久、環(huán)境溫度過高或太空揮發(fā)等原因，普通油脂潤滑劑已不再適用，從而提出以固體潤滑劑代替。試驗表明，用離子鍍來制作固體潤滑膜，比現(xiàn)有其他方法為優(yōu)。不但附著力強，鍍層又薄又勻，不影響零件的尺寸精度和公差配合。經濟性也好，少許潤滑材料即可鍍很大面積。潤滑膜的質量也較好，摩擦系數(shù)小，使用壽命也長。例如有一個人造衛(wèi)星上的精密軸承，未鍍前工作壽命為幾分鐘，根本無法使用;但是經離子鍍固體潤滑膜后，則可在飛行中可靠地工作數(shù)千小時之久。離子鍍不能夠鍍許多種常溫固體潤滑材料，而且還能鍍復各種高溫固體潤滑材料，有的甚至可以在攝氏八百度以上的高溫下發(fā)揮良好的潤滑作用。可鍍的固體潤滑材料有銀、金、銅、鉛、鉛錫合金、氟化物等。在直流脈沖、中頻濺射過程中，離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮。

利用原子力顯微鏡(AFM)和掃描電子顯微鏡(SEM)，對所制備的非晶硅薄膜進行了定性和定量的表征，研究了濺射功率、襯底溫度、濺射時間、氬氣氣壓等因素對非晶硅薄膜表面形貌和厚度的影響。實驗結果表明：非晶硅薄膜的表面粗糙度會隨濺射功率、濺射時間和濺射氣壓的增加而增大，而隨著襯底加熱溫度的增加而減小。   對制備的非晶硅薄膜在不同溫度和時間進行了退火處理。再利用X- 射線衍射儀(XRD)和拉曼光譜儀，對不同退火溫度的樣品進行晶化程度的表征。實驗結果表明：不同條件制備的非晶硅薄膜在750℃退火1 h 后就已發(fā)生不同程度的晶化，并且直流磁控濺射制備的非晶硅薄膜比射頻磁控濺射制備的非晶硅薄膜更容易發(fā)生晶化;退火溫度越高，非晶硅薄膜晶化速率越快。   此外，通過拉曼激光誘導晶化，結果表明：拉曼激光誘導非晶硅晶化為局域晶化，具有晶化速度快的特點;晶化過程中，需要控制激光強度，過強的激光會把非晶硅薄膜燒蝕掉。靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。常州GeSe2靶材廠家

對于所有的金屬來說，純度是靶材的主要性能指標之一，靶材的純度對后期產品薄膜的性能影響很大。鎮(zhèn)江Re靶材綁定

真空鍍膜設備替代電鍍設備是發(fā)展的必然     2012年全國化學電鍍產生的污水和重金屬排放量達到3.5億噸，固體廢物達到4.1萬噸，酸性氣體達到2.3萬立方米，由于真空鍍膜設備逐漸應用到市場上，污染排放量比2011年有所下降，但仍是一個不可忽視的數(shù)據(jù)，為處理這大量的污染，大部分企業(yè)已投放了共5868.1億元在污水治理方面，464.8億元在固體廢物治理方面，974.9億元在酸性氣體治理方面，但仍然有部分企業(yè)沒有完善治理措施，造成大量污染。         使用真空鍍膜設備進行電鍍可以有效改善污染情況，它不像化學電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進行鍍膜，而是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)或濺射方式進行鍍膜，完全沒有污染產生，是一種綠色低碳、符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的產業(yè)，已經越來越多企業(yè)淘汰了舊方式化學電鍍而轉用真空電鍍，但還有很多企業(yè)沒意識到環(huán)保的重要性，不懂得綠色生產其實是為自己和后代創(chuàng)建美好生存環(huán)境的道理。         綠色環(huán)保產業(yè)是必然的發(fā)展趨勢，造成嚴重污染的化學電鍍終會退出歷史舞臺，取而代之的是真空電鍍，利用真空鍍膜機鍍膜成為主流是不可質疑的。鎮(zhèn)江Re靶材綁定

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司，濺射靶材充分借鑒國外的先進技術，并通過與國內外**研發(fā)機構合作，整合各行業(yè)資源優(yōu)勢，生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬，合金，陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累，已經擁有：真空熱壓，冷壓燒結，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺，冷壓燒結爐一臺，真空熔煉設備兩臺，等靜壓設備一臺，等離子噴涂兩套，綁定平臺兩套，各類機加工設備七臺，檢驗設備若干，確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承：“一切以客戶的需求為導向，客戶的所有需求一次做好?！钡陌l(fā)展理念。