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河南Ta2O5靶材

來源: 發(fā)布時間:2022-03-28

常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系: 1.IP玫瑰金(rose gold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設計和加工。又稱粉色金(pink gold)、紅色金(red gold)。 2. IP金,用離子鍍膜的方式,讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上,一般由仿金層和表面金層兩層,表面金層的顏色與24K黃金一樣,厚度可以根據(jù)客戶的要求鍍不同的厚度。 3. 仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黃金,一般成份是由TiN TiCN ZrN ZrCN等陶瓷化合物組成,但很難達到真金的亮度。 4. 銀色系列,一般是鉻的化合物,顏色深淺可調整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列帶藍調,金屬光感好,暖色系列帶黃調,接近不銹鋼本色。 5. 黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調整,色調根據(jù)客戶的要求也可以調整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調,可以根據(jù)客戶的需要選擇不同的膜系。 6. 藍色系列,有天空藍,冰藍色,海洋藍,深藍等等,不同色系成份也有所不一樣。


純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。河南Ta2O5靶材

3D玻璃漸變色的應用 3D玻璃漸變色主要應用于3C產(chǎn)品,特別是手機領域。隨著雙玻璃加金屬邊框的盛行,3D后蓋裝飾工藝需要不斷革新?,F(xiàn)有的裝飾工藝主要是在裝飾防爆膜上進行鍍膜絲印,再與3D玻璃貼合實現(xiàn)裝飾效果,外觀裝飾主要還是防爆膜紋理和鍍膜顏色搭配實現(xiàn)。漸變色效果可以通過多種途徑實現(xiàn),包括:印刷、轉印、真空鍍膜、噴涂等。由于技術的瓶頸問題,現(xiàn)在量產(chǎn)的3D玻璃漸變主要有印刷和真空鍍膜兩種途徑。 漸變效果可大致分為同色漸變、鄰近色漸變、對比色漸變。漸變顏色的選擇對于印刷工藝的限制會小一些,選擇范圍更加寬。印刷工藝可以選擇對應顏色及對應顏色帶范圍進行印刷,能夠實現(xiàn)較為多元化的色彩沖撞效果,滿足設計者的不同變色需求;作為手機多會選擇的真空鍍膜裝飾工藝,對于漸變色的裝飾效果也可以達到夢幻流暢的效果,但色彩變化會有一定限制。 真空鍍膜漸變只能遵循顏色光譜變化規(guī)律:紅橙黃綠藍靛紫順序漸變,難以實現(xiàn)顏色的跨越,當然,有的設計者也會通過其他工藝的疊加實現(xiàn)更多元化的漸變效果。


BiFeO3靶材綁定濺射出靶材的原子、原子團、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團沉積到基材上形成薄膜。

作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材呈凹形結構。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。 地,所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面。作為本發(fā)明 的技術方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。 地,所述平面為圓形。 地,所述第二平面為環(huán)形。

由于操作人員同時對靶材側壁表面及經(jīng)圓角處理的側棱進行拋光,因此操作人員施加在靶材側壁表面及側棱上的力度差異小,拋光工藝結束后,靶材側壁表面及經(jīng)圓角處理的側棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得拋光表面具有良好的均一性,有助于改善濺射鍍膜質量。若分步驟對靶材側壁表面及經(jīng)圓角處理的側棱表面進行拋光,操作人員在兩個步驟中施加的力度容易差別較大,造成拋光處理后,靶材側壁表面與側棱表面粗糙度差異大,使得靶材側壁表面與側棱表面交接處具有臺階。在濺射鍍膜過程中,所述臺階容易導致前列放電,影響濺射鍍膜的均一性,造成鍍膜質量差。拋光片部分310的厚度均勻。所述拋光片第三部分330的厚度均勻。位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度不均,即所述拋光片第二部分320的厚度不均。拋光片部分310的厚度與所述拋光片第三部分330的厚度相等,均為2mm~3mm。拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為分體的。在其他實施例中,所述拋光片部分、拋光片第二部分及拋光片第三部分還可以為一體成型。換靶材后需要重新調功率匹配器的,只有功率匹配調好了才能正常起輝。

磁控濺射制備非晶硅薄膜   本實驗采用石英玻璃為襯底,實驗前先將玻璃襯底浸泡在溶液中,放到JHN- 4F(200 W)超聲波清洗機清洗30 min;然后用分析乙醇同樣在超聲波清洗機中清洗30 min; 放入裝有去離子水的燒杯中在超聲波清洗器中清洗約30 min 后晾干。然后以高純硅為靶材在JGP500型超高真空磁控濺射設備上,分別采用直流和射頻方式制備了兩塊樣品。在濺射前,預濺射5 min以除去靶材表面氧化物。1# 樣品采用直流磁控濺射方式, 濺射功率為100 W, 本底真空度6×10- 4 Pa , 濺射時間20 min,濺射氣壓0.5 Pa,襯底溫度為室溫。2#樣品采用射頻磁控濺射方式,濺射功率150 W,本底真空度6×10- 4 Pa,濺射時間120 min,濺射氣壓2.0 Pa,襯底溫度為室溫。樣品1# 和2# 均切為3 小塊,其中各保留一小塊不做退火處理,其他的小塊樣品處理情況為1#750℃、1#850℃,2#750℃、2#850℃在馬弗爐中退火1h。將1# 和2#未處理樣品用拉曼激光誘導方法,研究非晶硅薄膜的晶化過程。


對材質的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右。河南Ta2O5靶材

許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。河南Ta2O5靶材

與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例3與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的硬度為10hv;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例4與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的硬度為35hv;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。通過上述實施例和對比例的結果可知,本發(fā)明中,通過調整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。申請人聲明,本發(fā)明通過上述實施例來說明本發(fā)明的詳細結構特征,但本發(fā)明并不局限于上述詳細結構特征,即不意味著本發(fā)明必須依賴上述詳細結構特征才能實施。所屬技術領域的技術人員應該明了,對本發(fā)明的任何改進,對本發(fā)明所選用部件的等效替換以及輔助部件的增加、具體方式的選擇等,均落在本發(fā)明的保護范圍和公開范圍之內。河南Ta2O5靶材

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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