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廣東LCMO靶材

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-02-12

什么是3D玻璃? 現(xiàn)在數(shù)碼產(chǎn)品使用的玻璃蓋板分為:2D玻璃,2.5D玻璃,還有3D玻璃。2D玻璃就是普通的純平面玻璃,沒(méi)有任何弧形設(shè)計(jì);2.5D玻璃則為中間是平面的,但邊緣是弧形設(shè)計(jì);而3D屏幕,無(wú)論是中間還是邊緣都采用弧形設(shè)計(jì)。 3D曲面玻璃的特色符合 3C 產(chǎn)品設(shè)計(jì)需求。3C 產(chǎn)品設(shè)計(jì)如智能手機(jī)、智能手表、平板計(jì)算機(jī)、可穿戴式智能產(chǎn)品、儀表板等陸續(xù)出現(xiàn) 3D 產(chǎn)品,已經(jīng)明確引導(dǎo)3D曲面玻璃發(fā)展方向。3D曲面玻璃輕薄、透明潔凈、抗指紋、防眩光、堅(jiān)硬、耐刮傷、耐候性佳等優(yōu)點(diǎn),可型塑做出3D多形狀外觀具有產(chǎn)品特殊設(shè)計(jì)新穎性與質(zhì)感佳,又可增加弧形邊緣觸控功能帶來(lái)出色的觸控手感、無(wú)線充電機(jī)能,并能解決天線布置空間不足及增強(qiáng)收訊功能,使產(chǎn)品更美觀出色,產(chǎn)品設(shè)計(jì)差異化使消費(fèi)者更能青睞。


不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。廣東LCMO靶材

磁控濺射制備非晶硅薄膜   本實(shí)驗(yàn)采用石英玻璃為襯底,實(shí)驗(yàn)前先將玻璃襯底浸泡在溶液中,放到JHN- 4F(200 W)超聲波清洗機(jī)清洗30 min;然后用分析乙醇同樣在超聲波清洗機(jī)中清洗30 min; 放入裝有去離子水的燒杯中在超聲波清洗器中清洗約30 min 后晾干。然后以高純硅為靶材在JGP500型超高真空磁控濺射設(shè)備上,分別采用直流和射頻方式制備了兩塊樣品。在濺射前,預(yù)濺射5 min以除去靶材表面氧化物。1# 樣品采用直流磁控濺射方式, 濺射功率為100 W, 本底真空度6×10- 4 Pa , 濺射時(shí)間20 min,濺射氣壓0.5 Pa,襯底溫度為室溫。2#樣品采用射頻磁控濺射方式,濺射功率150 W,本底真空度6×10- 4 Pa,濺射時(shí)間120 min,濺射氣壓2.0 Pa,襯底溫度為室溫。樣品1# 和2# 均切為3 小塊,其中各保留一小塊不做退火處理,其他的小塊樣品處理情況為1#750℃、1#850℃,2#750℃、2#850℃在馬弗爐中退火1h。將1# 和2#未處理樣品用拉曼激光誘導(dǎo)方法,研究非晶硅薄膜的晶化過(guò)程。


武漢Er靶材費(fèi)用壓靶蓋旋的過(guò)緊,沒(méi)有和靶材之間留下適當(dāng)?shù)木嚯x,調(diào)整距離即可。

拋光片部分310的厚度均勻。所述拋光片第三部分330的厚度均勻。位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度不均,即所述拋光片第二部分320的厚度不均。拋光片部分310的厚度與所述拋光片第三部分330的厚度相等,均為2mm~3mm。拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為分體的。在其他實(shí)施例中,所述拋光片部分、拋光片第二部分及拋光片第三部分還可以為一體成型。靶材拋光裝置100還包括:防護(hù)層400,所述防護(hù)層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。所述防護(hù)層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。本實(shí)施例中,所述防護(hù)層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護(hù)層400的厚度過(guò)小,所述防護(hù)層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護(hù)靶材。若所述防護(hù)層400的厚度過(guò)大,使得所述防護(hù)層400的體積過(guò)大,進(jìn)而造成所述靶材拋光裝置100的體積過(guò)大,對(duì)操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來(lái)不必要的困難。

所述靶材的比較大厚度為23mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為1°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括銅和鋁。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實(shí)施例6本實(shí)施例提供一種長(zhǎng)壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.95mm;所述靶材表面的硬度為23hv;其中,所述靶材的比較大厚度為27mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鉭;所述背板的材質(zhì)包括鋁。對(duì)材質(zhì)的要求:一般選用無(wú)氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右。

靶材拋光裝置還包括:防護(hù)層,所述防護(hù)層位于所述固定板與所述拋光片之間。防護(hù)層為彈性材料。靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板的外表面上。把手的數(shù)量為兩個(gè),其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的頂部,另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的側(cè)壁上。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):提供的靶材拋光裝置的技術(shù)方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對(duì)靶材經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,位于側(cè)板上的所述拋光片表面適于對(duì)靶材側(cè)壁表面進(jìn)行拋光。所述靶材拋光裝置能夠?qū)Π胁膫?cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱同時(shí)進(jìn)行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對(duì)靶材表面進(jìn)行拋光的作業(yè)效率。因?yàn)橛锰幉灰粯樱圆煌猛镜陌胁膶?duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。揚(yáng)州鉺靶材貼合

一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當(dāng)發(fā)生靶中毒時(shí),濺射電壓會(huì)降低。廣東LCMO靶材

靶中毒的解決辦法(1)采用中頻電源或射頻電源。(2)采用閉環(huán)控制反應(yīng)氣體的通入量。(3)采用孿生靶(4)控制鍍膜模式的變換:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應(yīng)曲線,使進(jìn)氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的前沿,確保工藝過(guò)程始終處于沉積速率陡降前的模式。磁控濺射不起輝的常見(jiàn)原因有哪些,怎么應(yīng)對(duì)?磁控濺射金屬靶時(shí),無(wú)法起輝的原因有很多,常見(jiàn)主要原因有:1.靶材安裝準(zhǔn)確否?2.靶材表面是否干凈------------金屬靶表面氧化或有不清潔物質(zhì),打磨清理干凈后即可。3.起輝電源是否正常------------檢查靶電源。4.靶與地線之間短路----------關(guān)掉機(jī)器,把設(shè)備的濺射靶卸下來(lái),靶附近的零件仔細(xì)清洗一下;----------壓靶蓋旋的過(guò)緊,沒(méi)有和靶材之間留下適當(dāng)?shù)木嚯x,調(diào)整距離即可。5.永磁靶表面場(chǎng)強(qiáng)是否下降太多?---------如果下降太多,需要更換磁鋼。6.起輝濺射真空度與前次的差別?---------更換不同的靶材,起輝壓強(qiáng)不盡相同。換靶材后需要重新調(diào)功率匹配器的,只有功率匹配調(diào)好了才能正常起輝。廣東LCMO靶材

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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