主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
MEMS材料刻蝕技術(shù)是MEMS器件制造過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),面臨著諸多挑戰(zhàn)與機(jī)遇。由于MEMS器件通常具有微小的尺寸和復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu),因此要求刻...
氮化硅(Si3N4)作為一種高性能的陶瓷材料,在微電子、光電子和生物醫(yī)療等領(lǐng)域具有普遍應(yīng)用。然而,氮化硅的高硬度和化學(xué)穩(wěn)定性也給其刻蝕工藝帶...
材料刻蝕是微電子制造中的一項(xiàng)關(guān)鍵工藝技術(shù),它決定了電子器件的性能和可靠性。在微電子制造過程中,需要對多種材料進(jìn)行刻蝕加工,如硅、氮化硅、金屬...
材料刻蝕技術(shù)是微電子制造領(lǐng)域中的中心技術(shù)之一,它直接關(guān)系到芯片的性能、可靠性和制造成本。在微電子器件的制造過程中,需要對各種材料進(jìn)行精確的刻...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。