潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環(huán)境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響。潔凈室檢測結果的準確性直接影響到產品質量的穩(wěn)定性。江蘇實驗室環(huán)境檢測規(guī)范性強
1、按潔凈度級別劃分為1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為低等級別。2、按氣流組織分類,潔凈室可分為三類:單向流、層流、潔凈室。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。其中與水平面垂直的單向流是垂直單向流與水平面平行的單向流是水平單向流。亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室?;旌狭鳚崈羰遥簡蜗蛄骱头菃蜗蛄鹘M合的氣流的潔凈室。3、按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。工業(yè)潔凈室,它主要控制參數是溫、濕度、風速、氣流組織、潔凈度。生物潔凈室它與工業(yè)潔凈室一樣所不同的是控制參數中增加了控制室內細菌的濃度。4、潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類。(1)空態(tài)設施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產設備、材料及生產人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產設備并按業(yè)主供應商商定的方式試遠轉,但場內無生產人員。(3)動態(tài)設施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。北京實驗室檢測方便客戶潔凈室內的照明設備需定期清潔,避免成為污染源。
潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。3、各類調節(jié)裝置應嚴密、調節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調箱、靜壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵。5、潔凈室的內墻面、頂棚表面和地面應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現象。6、送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。7、潔凈室內各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應符合有關規(guī)定。
潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統(tǒng)調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統(tǒng)已經充分運轉,各項狀況已經穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。遵循GMP、ISO等國際標準進行潔凈室檢測,提升產品質量信譽。
1、主要參數控制一般空調側重溫度、濕度、新鮮空氣量的供給,而潔凈室空調則側重控制室內空氣的含塵量、風速、換氣次數。在溫濕度有要求的房間,它們也是主要控制參數。生物潔凈室對細菌含量也是主要的控制參數之一。2、空氣過濾手段一般空調有的只有粗效一級過濾,要求較高的是粗效中效二級過濾處理。而潔凈空調則要求三級過濾,即粗、中、高效三級過濾或粗、中、亞高效三級過濾。生物潔凈室除送風系統(tǒng)有三級過濾外,在排風系統(tǒng)為了消除動物的特殊臭味及避免對環(huán)境的污染,依據不同情況尚設二級高效過濾或濾毒吸附過濾。3、室內壓力要求一般空調對室內壓力無特殊要求,而潔凈空調為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產車間不同物質的相互影響對不同潔凈區(qū)的正壓值均有不同的要求。在負壓潔凈室內尚有負壓度的控制要求。4、潔凈空調系統(tǒng)材料和設備的選擇、加工工藝、加工安裝環(huán)境、設備部件貯存環(huán)境為了避免被外界污染均有特殊的要求。這也是一般空調系統(tǒng)所沒有的。5、對氣密性的要求一般空調系統(tǒng)對系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求。但潔凈空調系統(tǒng)的要求要比一般空調系統(tǒng)高得多其檢測手段,各工序的標準均有嚴格措施及檢測要求。定期進行光照度檢測,確保工作區(qū)域光線充足且均勻。浙江潔凈室環(huán)境檢測服務至上
氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。江蘇實驗室環(huán)境檢測規(guī)范性強
抽樣高效過濾器本體在進入現場前,生產廠家應按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。技術要求檢漏的結果要符合條件:由受檢過濾器下風側測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數器法兩種。江蘇實驗室環(huán)境檢測規(guī)范性強