人們認(rèn)為這種單向、平行的氣流應(yīng)該充滿(mǎn)整個(gè)潔凈室,但這在技術(shù)和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著知識(shí)的發(fā)展,人們指出這種單向流動(dòng)只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內(nèi)沿著平行的流線勻速流動(dòng)”,相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過(guò)整個(gè)空間的潔凈空氣的單向流動(dòng)特性為主的房間也稱(chēng)為單向流動(dòng)潔凈室。也就是說(shuō),不需要在整個(gè)房間內(nèi)有單向平行流線、勻速、無(wú)渦流,而只需要單向平行流特性來(lái)支配房間,例如整個(gè)工作區(qū)水平空間保證單向流動(dòng),本房間為單向流動(dòng)潔凈室。前面介紹的國(guó)內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和措施中單向流潔凈室所達(dá)到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達(dá)到的潔凈度。因此,密集布置的流線型擴(kuò)壓器頂部進(jìn)料和全孔板頂部進(jìn)料也被用作實(shí)現(xiàn)垂直單向流動(dòng)的手段。蔚亞科技提供科學(xué)、公正、具有法律效力的檢測(cè)數(shù)據(jù)和報(bào)告。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
、溫濕度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定:潔凈區(qū)的溫度和相對(duì)濕度與藥品生產(chǎn)工藝要求相適應(yīng)。無(wú)特殊要求時(shí),潔凈區(qū)溫度為18℃~26℃,相對(duì)濕度控制在45%~65%。有特殊要求車(chē)間根據(jù)工藝控制。溫度觀察:檢查溫濕度計(jì)是否完整,視線正對(duì)溫濕度計(jì)水平讀取顯示的數(shù)據(jù),需要記錄的應(yīng)立即填入表格中。濕度觀察:視線正對(duì)濕度表,準(zhǔn)確讀數(shù)。需記錄的應(yīng)立即填入表格中。需要加水的濕度計(jì),在觀察前應(yīng)檢查在蓄水腔內(nèi)是否有水,無(wú)水則需加入適量水,再觀察濕度。潔凈區(qū)的溫濕度每天至少記錄兩次,上午一次,下午一次。設(shè)備計(jì)量人員每年至少組織校驗(yàn)一次監(jiān)控系統(tǒng)的儀器設(shè)備。上海潔凈工作臺(tái)檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來(lái)沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測(cè)量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng),必須檢測(cè):2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。3.過(guò)濾器檢漏對(duì)高效過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會(huì)穿過(guò):3.1損壞了的過(guò)濾器;3.2過(guò)濾器與其外框間的縫隙;3.3過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物不穿過(guò)建筑材料侵入潔凈室。微生物檢測(cè)也是潔凈室檢測(cè)中不可或缺的一環(huán)。福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)方便客戶(hù)
高效過(guò)濾器(HEPA)的完整性測(cè)試對(duì)于保證空氣過(guò)濾效果至關(guān)重要。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
3.壓差檢測(cè):潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測(cè)通過(guò)對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過(guò)快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過(guò)慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此,氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的各種表面,如墻壁、地面、設(shè)備外殼等,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測(cè)通過(guò)對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè),評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)