△S:相鄰兩次稱量的時(shí)間間隔(min);實(shí)際測(cè)定時(shí),記錄一系列稱量和時(shí)間數(shù)據(jù),用上式計(jì)算滲透率并求其平均值?；蛞苑Q量數(shù)據(jù)為縱坐標(biāo),時(shí)間為橫坐標(biāo),繪制滲透率的特性曲線,所得直線的斜率即為滲透率。(2)滲透管動(dòng)態(tài)配氣裝置用已知滲透率的滲透管配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的裝置如圖6所示。740)">將滲透管放在氣體發(fā)生瓶中,再將氣體發(fā)生瓶放入恒溫水浴中,恒溫水浴的溫度要與測(cè)定滲透率時(shí)的溫度相同(一般為25±1℃),這樣就可不作溫度校正。稀釋氣(壓縮空氣)經(jīng)硅膠、活性炭和氫氧化鈉凈化器2除去水分和雜質(zhì)后,再經(jīng)流量控制閥和流量計(jì)3進(jìn)入氣體發(fā)生瓶7(即混合器)中,將滲透出來的氣體分子帶出,就得到標(biāo)準(zhǔn)氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度可由下式求出(在25℃和一個(gè)大氣壓下)。740)">式中:z:所配標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度(ppm);G:滲透管的滲透率(Lg/min);M:液體的摩爾質(zhì)量(g/mol);Q:稀釋氣體的流量(L/min);VM:配氣狀態(tài)下氣體的摩爾體積(L/mol)。四川二氧化氮標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。四川二氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體批發(fā)廠家

    混合罐。標(biāo)準(zhǔn)氣體分壓法1、適用范圍分壓法適用于制備常溫下是氣體，含量在1~60%的標(biāo)準(zhǔn)混合氣體2、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶匯流排，壓力表，閥門，真空泵，管道，氣瓶卡具。標(biāo)準(zhǔn)氣體擴(kuò)散法1、適用范圍擴(kuò)散法適用于制備常溫下是液體的有機(jī)氣體2、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶，閥門，流量控制閥，流量計(jì)，液體組分，分析儀表氣瓶，卡具。標(biāo)準(zhǔn)氣體容積法1、適用范圍靜態(tài)容積法適用于實(shí)驗(yàn)室制備多種小、少量的標(biāo)準(zhǔn)氣體，壓力接近大氣壓力。2、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶，氣瓶減壓閥門，定體積管，壓力計(jì)，真空泵。標(biāo)準(zhǔn)氣體飽和法1、適用范圍飽和法法適用于易于冷凝的氣體和蒸汽。2、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶，氣瓶減壓閥門，冷凝器，飽和器，恒溫控制器，壓力計(jì)，循環(huán)風(fēng)機(jī)。標(biāo)準(zhǔn)氣體流量法1、適用范圍流量比法法是動(dòng)態(tài)配氣方法，是嚴(yán)格控制一定比例的組分氣體和釋稀釋氣體的流量，經(jīng)混合而得到的標(biāo)準(zhǔn)氣體。2、所需設(shè)備氣瓶，氣瓶減壓閥門，單向閥，流量控制器，壓力表，管道，機(jī)箱。標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋法1、適用范圍稀釋法法法是制備低含量標(biāo)準(zhǔn)氣體的方法之一。2、所需設(shè)備氣瓶，氣瓶減壓閥門，流量控制器，壓力表，管道。標(biāo)準(zhǔn)氣體體積法1、適用范圍體積比法是簡(jiǎn)單的配氣方法。成都標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家直銷甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。

    容器選擇盛裝標(biāo)準(zhǔn)氣體的容器應(yīng)由耐腐蝕、抗壓、吸附少、不生銹、化學(xué)特性穩(wěn)定、機(jī)械強(qiáng)度高的材料制成,通常使用的高壓容器是鋁合金瓶,而碳鋼瓶因其內(nèi)壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰。預(yù)處理盛裝標(biāo)準(zhǔn)氣體的鋼瓶使用前應(yīng)進(jìn)行表面清潔、涂漆處理,然后,將鋼瓶加溫至100℃左右,同時(shí)抽真空處理約4h。鋼瓶處理完畢后,必須分析其H2O、O2等雜質(zhì)含量,合格后方可使用。氣體要求配制10%的CH4/Ar四瓶,進(jìn)行為期一年的穩(wěn)定性考察,見表1,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,由于鋁合金鋼瓶?jī)?nèi)壁比較光滑,因此在盛裝一般長(zhǎng)久氣體時(shí)性質(zhì)穩(wěn)定,變化不大,鋼瓶不用特殊處理,即可滿足此類標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性的要求。在配制COS、H2S、SO2等氣體時(shí),必須對(duì)鋼瓶進(jìn)行KG或CM處理,即為了防止容器內(nèi)壁因吸附或解吸等帶來的影響。先對(duì)容器內(nèi)壁進(jìn)行鏡面研磨,涂上防氧化漆,然后把高濃度氣體充入容器內(nèi)并放置10d左右,從而提高標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性。用未經(jīng)KG或CM處理的鋼瓶配制mg/m3,COS/N2一瓶,實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖1。用經(jīng)KG處理的鋼瓶配制mg/m3COS/N2一瓶,實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖2。以上實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明。配制易吸附標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí),鋼瓶必須經(jīng)KG或CM處理,才能保證其穩(wěn)定性可靠,否則,組分氣的含量變化很大,不宜作為標(biāo)準(zhǔn)氣體來使用。

    CVD)的方法生長(zhǎng)一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4種,即硅烷、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。5.蝕刻氣體(Etchinggases)：蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉,而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來,這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是,圖形邊緣整齊,線條清晰,圖形變換差小,且對(duì)光刻膠膜及其掩蔽保護(hù)的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng)、工藝控制精確、方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污,所以其應(yīng)用范圍日益***。6.摻雜氣體(DopantGases)：在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中,將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi),以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率,用來制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。福建便攜式氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。

    進(jìn)行量值仲裁等。大型乙烯廠、合成氨廠及其它石化企業(yè),在裝置開車、停車和正常生產(chǎn)過程中需要幾十種純氣和幾+百種多組分標(biāo)準(zhǔn)混合氣,用來校準(zhǔn)、定標(biāo)生產(chǎn)過程中使用的在線分析儀器和分析原料及產(chǎn)品質(zhì)量的儀器。標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測(cè),**的有機(jī)物測(cè)量,汽車排放氣測(cè)試,天然氣BTU測(cè)量,液化石油氣校正標(biāo)準(zhǔn),超臨界流體工藝等。標(biāo)準(zhǔn)氣視氣體組分?jǐn)?shù)區(qū)分為二元、三元和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體;配氣準(zhǔn)度要求以配氣允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2MI配氣允差標(biāo)準(zhǔn),但各公司均有企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。組分的**低濃度為10-6級(jí),組分?jǐn)?shù)可多達(dá)20余種配制方法可采用重量法,然后用色譜分析校核,也可按標(biāo)準(zhǔn)傳遞程序進(jìn)行傳遞。3、電子氣體(Electronicgases)：半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)、LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí)、VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。4.外延氣體(Cpita***algases)：在仔細(xì)選擇的襯底上采用化學(xué)氣相淀積。成都二氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。重慶乙烷標(biāo)準(zhǔn)氣體供應(yīng)商

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    L:鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣的濃度(ppm);Qs:鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣的流量(L?min);Qa:壓縮空氣的流量(L?min;用此法配氣時(shí),在壓縮空氣的管路中應(yīng)安裝選擇性過濾器(凈化器),以除去空氣中影響配氣純度的雜質(zhì)。此外配氣出口的總流量應(yīng)略大于用氣口的流量,以保證所配氣體的濃度與純度。2.滲透管動(dòng)態(tài)配氣法(1)滲透管及滲透率的測(cè)定滲透管是動(dòng)態(tài)配氣法中的另一種氣源,其結(jié)構(gòu)見圖5。740)">在安培瓶1中裝入產(chǎn)生原料氣的液體(如汽油等),用不銹鋼加固環(huán)3將聚四氟乙烯塑料帽2和安培瓶1的頸部緊封牢固,塑料帽的上端是比較薄(壁厚在1毫米以下)的滲透面4。由于原料液體的揮發(fā)性,使安培瓶中有一定蒸氣壓,氣體分子在蒸氣壓力的作用下,通過滲透面向外滲透。單位時(shí)間的滲透量叫滲透率。在一定溫度下,滲透率的大小決定于滲透面的厚度和面積的大小等因素。滲透面越大,壁越薄,滲透率就越大。制作滲透管時(shí),就是通過改變滲透面積和厚度的辦法,以獲得不同滲透率的滲透管。任何滲透管在使用前都必須知道其滲透率。滲透率的測(cè)定方法是:在一干燥瓶的底部裝入粒狀氫氧化鈉,上面蓋一層尼龍紗網(wǎng),將滲透管放入干燥瓶中的紗網(wǎng)上。加蓋后,滲透出來的氣體(汽油蒸氣)就會(huì)被氫氧化鈉吸收。由于液體的蒸氣壓與溫度有關(guān)。四川二氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體批發(fā)廠家