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半導體設備隔振臺用途是什么

來源: 發(fā)布時間:2022-05-29

TS-140TS-140結合了久經考驗的技術特點與優(yōu)雅且對用戶友好的設計這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。在公制(M6x25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。TS-140結合了久經考驗的技術特點與優(yōu)雅且用戶友好的設計TS-140的隔離始于0.7Hz,超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結果TS-140的高度瑾為84毫米TS140的重量瑾為28.5千克手次使用AVI系統(tǒng)時,將前面板隔離開關設置為關閉(黑色旋鈕熄滅)。半導體設備隔振臺用途是什么

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1、使用2mm內六角扳手(包括在內)拆下模塊端板。2、根據(jù)掃描電鏡的重量調整模塊。在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙,允許每側大約有2mm的行程。B、使用M6活動扳手(包括)轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙(在中間止動螺母和橫撐之間)。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。C、計算每個螺母的圈數(shù);盡可能均勻地調整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。D、不要轉動螺母太遠,否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下,外露螺紋不得超過10mm3.裝回模塊上的端板主動隔振臺質保期多久Table Stable通過在發(fā)展主動隔振系統(tǒng)的同時補充了被動系統(tǒng)。

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TS-150支撐面測試:盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運行,但采用軟支撐結構共振放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。您可以通過觀察診斷信號來了解支持結構的適用性同時推動支持。此測試應禁用隔離。如果支撐是剛性的信號幾乎不應響應任何方向對支撐的推動?,F(xiàn)在嘗試點擊支持激發(fā)其內部共鳴。通常,支架會對水平隆頭產生更強烈的反應而不是垂直的。一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振,并且隔離將在這些頻率上受到嚴重影響。更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。

    AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設備(例如SEM)時,避免了任何復雜的過程。技術指標:頻率::0-800公斤(單個):400公斤。 傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。

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關鍵詞:主動式隔震臺、主動式隔振臺、主動式防振臺、防振臺、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動傳遞率橫坐標為頻率,縱坐標為傳遞率的數(shù)據(jù),在10hz頻率以上時,傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02,很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數(shù)據(jù)(實驗室實驗數(shù)據(jù))垂直方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,蕞大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db。襯底隔振臺質量怎么樣

AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,蕞大負載為800公斤。半導體設備隔振臺用途是什么

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包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,蕞大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負載。

為了使AVI200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。AVI200-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程技術指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-400千克(0-200千克單個元件) 半導體設備隔振臺用途是什么

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