1.更換SEM側(cè)面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉(zhuǎn)前面板上的“ON”開關(guān)。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后，使能LED指示燈將變穩(wěn)定，指示系統(tǒng)已正確隔離。輕輕敲擊SEM時(shí)，控制器上的紅燈應(yīng)短暫點(diǎn)亮然后熄滅。4.如果一個(gè)或多個(gè)指示燈持續(xù)亮起，或者在正常情況下指示燈不熄滅，或者如果點(diǎn)擊不亮，則表明傳感器過載。請仔細(xì)檢查以下內(nèi)容：沒有任何東西觸及模塊，連接模塊和SEM的所有電纜均松弛，并且已針對負(fù)載適當(dāng)調(diào)整了模塊。HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外，補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動式隔振系統(tǒng)。HERZAN隔振臺干擾儀防震臺應(yīng)用

主動式隔震臺工作機(jī)理主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。（1）實(shí)際測量的振動結(jié)果：AVI主動隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。（2）不同負(fù)載下的振動傳遞率：AVI的隔振性能在負(fù)載低于30Hz以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。高頻率范圍內(nèi)，隨著隔振負(fù)載增加，隔震效果稍有提升。主動減振臺隔振臺國內(nèi)用戶傳感器可以移動到任何所需位置。

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設(shè)置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動。現(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內(nèi)的振動太嚴(yán)重。

AVI-400系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg單位重量：約13kg；約19公斤，聯(lián)絡(luò)我們電源電壓：95-240VAC，50-60赫茲耗電量：通常為18W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-S的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動模式AVI600-S緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單個(gè)）：600公斤安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。AVI-200SLP隔振臺摩擦學(xué)應(yīng)用

AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。HERZAN隔振臺干擾儀防震臺應(yīng)用

TS-150支撐面測試:盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運(yùn)行，但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動頻率，因此這些振動頻率會降低隔離的。您可以通過觀察診斷信號來了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時(shí)推動支持。此測試應(yīng)禁用隔離。如果支撐是剛性的信號幾乎不應(yīng)響應(yīng)任何方向?qū)χ蔚耐苿印，F(xiàn)在嘗試點(diǎn)擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。通常，支架會對水平隆頭產(chǎn)生更強(qiáng)烈的反應(yīng)而不是垂直的。一個(gè)非常共振的支撐將顯示長壽命的共振，并且隔離將在這些頻率上受到嚴(yán)重影響。更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。HERZAN隔振臺干擾儀防震臺應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才，以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力，加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括：半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營宗旨，深受客戶好評。公司深耕半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀，正積蓄著更大的能量，向更廣闊的空間、更寬泛的領(lǐng)域拓展。