半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽氣機(jī)獲得，它的氣體稀薄程度用真空計測定，現(xiàn)在已能用分子抽氣機(jī)和擴(kuò)散抽氣機(jī)得到1*10-14pa大氣壓的高真空。真空技術(shù)在芯片制造，太陽能電池片制造，光學(xué)膜制造、電真空儀器，電子管和其他電子儀器方面均有普遍應(yīng)用。普通真空泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空； 油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0，嘉興真空油泵.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ；擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，嘉興真空油泵，嘉興真空油泵，(10-3mmHg)為“高”真空。水環(huán)真空泵的排氣管路不能安裝閥門，以免誤操作讓泵出口帶壓運(yùn)行。嘉興真空油泵

水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵比較初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到普遍的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。真空擴(kuò)散泵哪家好通常把微型真空泵叫做小型真空泵。

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。限壓力(限真空)從粗真空到10-12Pa以上的高真空范圍。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱�。變�(nèi)菡婵毡檬抢�用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。

綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩Ｋ�環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，真空泵的入口真空度達(dá)到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環(huán)真空泵便會產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象，氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大，主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生，可以降低工作液的溫度，或者降低真空泵的使用真空度，限壓力為3300~5000Pa之間。真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響？

油擴(kuò)散泵的至大出口壓強(qiáng)取決于比較后*噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及比較后*噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。比較大出口壓強(qiáng)：油擴(kuò)散泵的比較大出口壓強(qiáng)取決于比較后*噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及比較后*噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。減少返油的措施，(1) 返油源于以下四個方面，凝結(jié)于頂噴嘴表面的油膜蒸發(fā)，占總返油量的70%左右；泵壁上凝結(jié)油膜的蒸發(fā)，與泵壁的冷卻狀況有關(guān)；蒸汽射流碰壁后的散射，與射流強(qiáng)度有關(guān)；蒸汽射流中油分子向高真空側(cè)的擴(kuò)散，與射流溫度有關(guān)，在頂噴嘴上加擋油帽，可大幅減少頂噴嘴表面油膜的蒸發(fā)返油量，且對泵的抽速影響不大一一現(xiàn)代擴(kuò)散泵的標(biāo)配；(2) 減少返油的措施，在泵入口處加擋油環(huán)或者擋油阱，可以減少泵壁上凝結(jié)油膜的蒸發(fā)返油量。合格的真空泵需要注意鑄件質(zhì)量。肇慶小型抽真空泵

臥式往復(fù)真空泵一般為有油式，立式多為無油式。嘉興真空油泵

真空泵按工作介質(zhì)可分為水噴射泵、大氣噴射泵和水蒸汽噴射泵，噴射泵特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、工作穩(wěn)定可靠�？沙槌�含有水蒸汽、粉塵的氣體、易燃易爆氣體和性氣體。抽氣量大，應(yīng)用普遍：冶金、化工、食品制造等領(lǐng)域：缺點(diǎn)：抽氣效率低，能量損失大：擴(kuò)散泵：以油或汞蒸汽作為工作介質(zhì)。汞擴(kuò)散泵不帶分餾裝置，油擴(kuò)散泵有分餾裝置。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。嘉興真空油泵