綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣，智能真空泵、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，智能真空泵，真空泵的入口真空度達到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環(huán)真空泵便會產生氣蝕現(xiàn)象，氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大，主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產生，可以降低工作液的溫度，智能真空泵，或者降低真空泵的使用真空度，限壓力為3300~5000Pa之間。真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。智能真空泵

螺桿泵是利用齒輪傳動*反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿比較末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）等。集中式真空泵費用真空泵安裝的時候周圍應留有充分的余地。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變容真空泵和動量傳輸泵。變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。 動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹�。變容真空泵又分為：往復式，旋轉式（旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式），其它型式。國產的各種機械真空泵的型號通常是用漢語拼音字母來表示。漢語拼音字母表示泵的類型；字母前的數(shù)字表示泵的級數(shù)，單級時“1”省略；字母后邊橫線后的數(shù)字表示泵的抽速(L/S) 。

真空泵是一個量大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵從高/超真空到粗/低真空，其產品大致可分14大類：高/超真空一一低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。中真空一一干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。粗/低真空一一單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復式真空泵。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。當泵入口壓強很低時，氣體從前級通過射流的反擴散會增加。

低溫吸附泵：利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附以達到抽氣作用的泵。按吸附劑不同，分為三類：1.非金屬吸氣劑：活性炭、分子篩等位吸附劑，2.金屬吸附劑：以蒸發(fā)或升華在冷表面上的鈦、鋯、鉬等金屬或合金作為吸氣劑，3.氣體霜的捕集吸氣：以CO2、水蒸氣等易冷凝的氣體在低溫表面上成霜作為吸附劑，這些氣體成霜的同時，將不易冷凝的氣體一起埋葬或吸附抽除，低溫泵抽混合氣體比單一氣體效果好，實際使用的是將冷凝和吸附結合，構成冷凝吸附泵而獲得高真空。變形也是真空泵零件常見的一種失效模式。智能真空泵

真空泵的限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。智能真空泵

隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。智能真空泵